48所高温扩散炉说明书不通干氧怎么回事?

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智能高精度多工位扩散炉温度控制系统的研究与实现
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官方公共微信真空炉抽不干净空气怎么回事炉体密封很好没问题,就是抽真空的时候抽不到额定气压值,但是气压有降的很快.是怎么回事?是不是扩散泵和罗茨泵坏了?_百度作业帮
真空炉抽不干净空气怎么回事炉体密封很好没问题,就是抽真空的时候抽不到额定气压值,但是气压有降的很快.是怎么回事?是不是扩散泵和罗茨泵坏了?
系统中还有无低沸点液体存在,粘壁上的也算
你的炉体密封很好不知道你是怎么检测的,一般真空炉都是双层的,也有内层渗水的现象。还有你油扩散泵油是否氧化,还有真空炉内有加热元件有放气和内壁粘附水气,另外炉内结构连接部件设计是否有放气孔等一些原因有关系。炉体密封很好并不代表你的真空系统管道密封很好。 还有与测量元件是否有损坏和测量元件是否选对。...
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硅基电磁激励式微流路组件研究论文.pdf96页
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··········
··········
黑龙江大学
硕士学位论文
硅基电磁激励式微流路组件研究
姓名:李点美
申请学位级别:硕士
专业:微电子学与固体电子学?传感器与MEMS
指导教师:温殿忠
本文提出了一种在硅杯表面采用浓硼扩散区与镀金属膜形成的欧姆
接触电极作为内引线的硅基电感的新制造方法。我们设计了硅基电感的
版图尺寸和相关的工艺流程,用IntelliSuite软件模拟验证了工艺流程的
可能性,再利用Ansys有限元软件中的电磁分析模块模拟了电流与磁感
应强度的关系、衬底涡流分布等,为平面电感的理论与实验的进一步比
较分析提供了参考依据。在研制过程中我们发现影响电感性能好坏的主
要因素是衬底涡流效应,为此本文提出了在矩形硅杯膜上制作电感的方
法,为了进一步减薄金属电感线圈衬底的厚度,我们在硅杯膜背面采用
激光打孔得到了膜厚约为5¨m的衬底,从而可以使衬底中的涡流大幅度
减少、电感的Q值得到很大提高。此外,本文提出的新制造方法采用了
绝缘性能比Si02好的A1203薄膜作为电感线圈与衬底之间的绝缘层。结
果表明,本文设计的平面螺旋电感具有制造工艺简单、与Ic工艺相兼容
的优点,有广泛的应用前景。
关键词:MEMS;浓硼扩散区;内引线;激光打孔;硅基微电感
黑龙江大学硕士学位论文
Thisthesisforwardanewkindofmethodofinductor
fabrication,
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供应氧化扩散炉
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YHKSL-1300&
63000.00元/台&
供货总量:
发货期限:
自买家付款之日起
30 天内发货
中国 山东 青岛市
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&&& 氧化扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业,对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
氧化扩散炉技术指标:
t可处理硅片尺寸:2&12英寸
t外型形式:卧式1&4管结构
t工作温度:200℃&1300℃
t恒温区长度及精度:200mm&1100mm&&0.5℃
t单点温度稳定性、重复性: &&1℃/24h
t温度斜变: 可控升温速率15℃/min
t可控降温速率: 5℃/min
t送片装置:全自动悬臂推拉舟、拉杆式推拉舟
t气路系统:1&5路工艺气体/管
t气体控制:全自动MFC
t控制方式:工控机、触摸屏
t工艺方式:干氧氧化、湿氧氧化
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