谐振式压力传感器搜索两个传感器怎么设备,为什么一直显示通道2开环

硅谐振压力微传感器开环测试中的信号处理技术--《航空学报》1999年04期
硅谐振压力微传感器开环测试中的信号处理技术
【摘要】:介绍了自行设计的专用开环测试系统。该系统为一个自动测试系统,可测出谐振梁的幅频和相频特性,而且能成功地测出从拾振电阻获得的若干微伏的微弱信号。开环测试中最重要的问题是所谓的同频干扰。发现通过激励电阻与拾振电阻间的分布电容耦合的激励信号是同频干扰的最终来源。用对称激励技术成功地解决了这一问题。
【作者单位】:
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【分类号】:TP212【正文快照】:
硅微传感器是当今传感器发展的前沿技术。所谓微传感器是指其敏感元件的尺度达微米乃至亚微米量级,由微机械加工技术制造而成。其体积仅为传统传感器的几百分之一甚至几千分之一。硅谐振微传感器是硅微传感器中最具特色的一种,它直接输出频率量,比硅压阻式和硅电容式有更
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硅谐振式压力微传感器模型与开环特性测试
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&&基于谐振式硅微结构压力传感器幅、相频率特性的分析,利用北京航空航天大学微传感器实验室研制的谐振式硅微结构传感器开环测试系统的测试实验结果和Matlab实验数据处理与拟和分析计算,建立了微传感器的二阶模型.该模型排除了未知相位延迟的影响,从幅值和相位混合的测试数据中精确计算出谐振频率、品质因数以及相位特性,为闭环测试系统的研制提供了依据.
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