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我国LED制造装备国产化现状分析
出自：中国半导体照明网
关于LED制造装备的国产化问题一直都是产业不可避免的问题，在农历2016年年尾，简单回顾一下我国LED制造装备相关新政策和发展现状，仅供参考！
政策：三项优惠政策支撑我国半导体设备发展
从2014年至今，国家发布了三项与半导体设备相关的政策文件。其一是《关于调整重大技术装备进口税收政策的通知》，对符合规定条件的国内企业为生产国家支持发展的重大技术装备而确有必要进口部分关键零部件免征关税和进口环节增值税。在这方面，集成电路、LED、太阳能电池生产设备中的16项关键设备被列入其中。此项政策一出，也为我国半导体照明产业在装备产业发展提供了便利，也加速了装备国产化的进程！
第二是《关于进一步鼓励集成电路产业发展企业所得税政策的通知》，规定对符合条件的集成电路专用设备企业，在2017年前实现获利的，自获利年度起，第一年至第二年免征企业所得税，第三年至第五年按照25%的法定税率减半征收企业所得税。当然，从税收政策上对集成电路设备企业给予照顾，也在一定程度上减轻企业税负，鼓励企业快速发展。
第三是《关于开展首台（套）重大技术装备保险机制试点工作的通知》，规定中对于制造《目录》内装备、且投保“综合险”或选择国际通行保险条款投保的企业，中央财政给予保费补贴。实际投保费率按3%的费率上限及实际投保年度保费的80%给予补贴，补贴时间按保险期限据实核算，原则上不超过3年。目前共有13项半导体装备列入目录。此项整的出台也为国产设备在首台套应用和推广上极大的提高设备企业和应用企业的信心。
除了上述三大扶持政策以外，国家已经启动的1200亿规模的国家集成电路产业发展投资基金，在重点扶持晶圆设计、制造、封装领域的同时，也将扶持上游生产设备领域。通过国家大基金的支撑，极大的促进我国半导体产业重大装备国产化。
现状：除MOCVD设备在试用中，其余设备基本实现规模化应用
中国电子专用设备工业协会统计显示，2014年我国半导体设备行业35家主要设备制造商共完成39.63亿元销售收入，同比增长31.5%；实现利润8.48亿元，,同比增长13.8%;预计2015年销售收入将达到50亿元左右, 同比增长25%。
在国家政策的推动下，在02专项和国家集成电路发展基金的支持下，更多的国产集成电路设备将进入大生产线，国产集成电路设备的国内外市场将继续得到增长；国产LED设备将全面进入六家LED制造商的生产线，加快LED设备国产化进程；太阳能电池生产设备将继续小幅增长。
LED设备方面，从蓝宝石材料开始，一直到PSS、外延、芯片端，再到最后的减薄等工艺，目前，国产设备已经能够很好地代替进口设备。
按工序的具体顺序来看，浙江晶盛生产的90公斤蓝宝石单晶炉，苏州赫瑞特、湖南宇晶、唐山晶玉、中国电子科技集团公司第四十五研究所(以下简称“45所”)等生产的多线切割机，中晟光电、中微半导体的MOCVD设备，45所的清洗设备、光刻机，北方微电子的PECVD设备、ITO薄膜溅射设备、AlN薄膜溅射设备、GaN ICP刻蚀机、PSS ICP刻蚀机，深圳矽电半导体设备有限公司的全自动点测设备，45所、大族激光、苏州德龙的激光划切机，45所的自动粘片机、自动引线键合机等等，各项技术指标均已接近或超过国外主流机型，部分型号已经成为主流企业生产线上的主力量产机型。
“从最开始的甩干机、退火炉、清洗台、显微镜等简单设备到激光切割机、干法蚀刻机、匀胶显影设备以及最近出现的MOCVD等关键设备，国产设备已经在国内市场站稳了脚跟。”君盛投资管理有限公司投资总监张为表示，“目前除了MOCVD设备还在试用中，其他设备基本得到了规模化的应用，已经服务于生产之中。”
问题：国产半导体设备市占率不高，推广十分艰难
经过十余年的努力，国内设备生产企业在部分领域取得了突破，获得了较高的市场份额，但是还有很多环节的市场主要被国外企业占据。
国产半导体设备的市场占有率并不高，以集成电路设备为例，目前市占率六分之一都不到。而在LED设备行业，目前国内多家企业已经生产出MOCVD设备，并且有多家外延芯片企业正在试用中，重大装备国产化的希望之星已然诞生，正在逐渐形成星火燎原之势。
而在其他设备如研磨机、清洗机、甩干机、蒸镀机、裂片机、点测机、分拣机等,市场上虽有部分国产设备,但一般都很难超过30%的份额。如点测机分选设备，45所及深圳矽电都在积极推进，但国产设备的市场份额还是不超过10%。
专家认为，以上设备除研发成本较高、研发周期较长、技术更新之快外，市场推广也十分艰难。国产设备没有量产的检验及反馈后的改进，因此在稳定性上略有不足，也造成芯片企业对国产设备信心不足。很多企业送样机进行试产较为顺利，但是一到批量生产就面临重重困难。&
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Copyright & 2017 SEMI&. All rights传感技术国家重点实验室(北方基地)
&&& 一、基本情况&　　传感技术联合国家重点实验室成立于1987年。实验室面向国家重大需求、国民经济主战场和世界科技前沿，将基础微电子和微机械加工技术的传感器与微系统作为主要研究方向，开展基础性、战略性、前瞻性的研究工作。实验室长期致力于提高我国传感技术的自主创新能力和国际竞争力，推动我国传感技术应用和产业的发展，为国民经济建设服务，并成为我国传感技术的研究基地和高素质、高水平传感技术人才的培养基地。&　　传感技术联合国家重点实验室（北方基地）依托于中国科学院电子学研究所，具有电子学、化学、材料科学、信息技术、生物技术、纳米技术等多学科交叉的综合优势，形成了一支拥有 973 首席科学家、千人计划、青年千人、国家杰青、百人计划等各项人才的多学科交叉创新科研团队，建立起一个以MEMS技术和器件为基础的综合研发平台，研制出电场传感器、谐振式压力传感器、气象传感器、电化学地震检波器、光纤声传感器等高性能物理量传感器；在气体传感器、水环境监测微传感器等化学量传感器和神经信息检测、低成本便携式生化快速检测等生物量传感器方面取得重大进展，获得国家发明二等奖；在SPR 生化分析仪、离子迁移谱仪、微型气相色谱仪、集成光表界面原位分析仪、可穿戴式健康监护设备等仪器仪表系统方面突破多项关键技术，实现了多项技术转让；在加工工艺、敏感材料、信息处理、系统集成、传感器测试等方面积累了丰富的工作经验和人才资源。&　　实验室现有面积4400平方米，包括1000平米净化室，室内拥有一条完整的微电子机械系统（MEMS）加工工艺线，能够进行双面光刻、各向同性及异性腐蚀、反应离子深刻蚀、Si-Si键合、 Si-玻璃键合、准LIGA加工、PDMS“铸造”微器件、真空封装等。净化室内还拥有PECVD、LPCVD、射频溅射、电子束蒸发等大型镀膜装置、以及高温扩散炉、退火炉，激光划片机、激光修阻仪、金丝球压焊机、可编程抛光机、半导体参数测试仪、台阶仪、应力测试仪等。实验室于2012年还新进一批薄膜表征设备，包括：扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、全内反荧光显微镜(TIRF)、宽光谱椭圆偏振仪、共聚焦显微镜、拉曼光谱仪等。基于这些先进的仪器设备，实验室不仅能够满足内部人员的日常科研工作，还对外承接器件加工、封装、测试等业务。&　　二、学术委员会组成&　　名誉主任: 方家熊&　　顾&&& 问: 宋宗炎& 鲍敏杭& 刘忠立 钱世钧&　　主&&& 任: 吴一戎&　　副 主 任: 崔大付 江& 雷&　　委&&& 员: 蔡新霞& 樊春海& 樊尚春& 龚海梅& 郝一龙& 黄庆安& 李昕欣& 刘& 明& &　　&&&&&&&&& 刘双江& 梅& 涛& 夏善红& 谢志峰& 杨富华& 张文栋& 赵建龙& 朱自强 &　　三、研究方向&　　　　主要研究方向&　　四、联系方式&　　电话：010-，传真：010-。&
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北方微电子PECVD设备竞逐OFweek2014最佳LED设备技术创新奖
一年一度的LED行业盛会"OFweek LED Awards2014行业年度评选"目前企业参评报名已近入尾声，并即将进入"用户投票及专家评选阶段"（日-日）。OFweek LED Awards评选涵括LED产业链的上游至下游，被誉为业界"奥斯卡奖"，影响颇深。
　　OFweek网讯 一年一度的行业盛会&OFweek LED Awards2014行业年度评选&目前企业参评报名已近入尾声，并即将进入&用户投票及专家评选阶段&（日-日）。OFweek LED Awards评选涵括LED产业链的上游至下游，被誉为业界&奥斯卡奖&，影响颇深。该评选由OFweek中国高科技行业门户主办、OFweek半导体网及OFweek照明网共同承办，已连续举办第四年，是OFweek2014年高科技行业重要的评选活动之一。　　此次评选北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司将携NMC EPEETM 550 PECVD（等离子体增强化学气相沉积系统）产品参加&最佳LED设备技术创新奖&评选。NMC EPEETM 550 PECVD　　北方微电子公司于2013年1月开始布局LED领域的PECVD设备开发，历经1年时间完成设备开发及优化，于2014年4月形成首台销售，5月份客户端调试，6月初实现量产。6月份第二台设备同时实现销售，1个月后实现稳定量产。设备工艺结果能够满足客户不同芯片工艺的需求，生产运行稳定，获得了客户的高度认可。NMC EPEETM 550 PECVD是一款面向LED领域的大产能PECVD设备，适用于制造中的保护层、SWE掩膜层、CBL等工艺制程。，可用于SiO2、SiNx、SiONx等高质量薄膜的沉积。该设备具有运行稳定，、维护简单快捷，产能输出大，沉积膜层质量优异等特点。机台运行的主要过程包括：人工手动上片，自动合盖，执行工艺开始，设备自动按照预设的菜单，完成腔室状态检测，薄膜工艺沉积等多项内容。工艺完毕，腔室经充分吹扫后切换至大气状态，自动开盖后，人工下片。重复此循环，进行批量生产。　　该设备整机集成度较高，控制系统和Gasbox均集成在主机内，整体占地小，集成度高，维护操作方便；工艺进气方式为中心进气、双层匀流，反应腔为中心下抽结构，能够形成良好的气体输入及分配结构，保证不同片位之间的工艺均匀性；上电极采用陶瓷隔离结构，具有高气压和高功率的工艺起辉能力，无工艺打火风险。既能有效提高工艺沉积速率，同时可提高腔室清洗时速率，有利于提升设备产能；针对LED行业主流的2&和4&片，载片台采用三区加热方式，内区和中区控制晶片的加热，外区则在晶片范围以外实现边缘保温效果，从而保证载片台内良好的温度均匀性。针对腔室、上盖及o-ring等位置，添加冷却结构，控制非加热部件的温度，延长部件使用寿命，提高机台安全性；设备装片容量61片2&或16片4&或7片6&，无论是目前的小尺寸晶片还是未来的大尺寸晶片，都可以在EPEE550上获得具有优势的产能。同时可针对客户的特殊要求，能够进行装片尺寸、数量、排布的定制化；设备具有过渡腔颗粒收集结构（专利技术），收集副产物颗粒，减少对于真空泵组的颗粒污染，延长泵组使用寿命。规、阀安装口具有防颗粒结构，延长部件寿命，同时均增加维护盲板，便于颗粒清理；设备定期进行在线干法自动清洗，清洗速率快，清洗效果优异，清洗范围覆盖上、下电极及腔室侧壁，清洗后工艺恢复时间短，可快速转换为生产模式。　　PECVD作为LED领域的制程设备之一，广泛应用于钝化层、阻挡层、保护层等工艺，是LED芯片生产中的重要组成部分。目前能够提供LED领域生产型PECVD设备的厂商主要来自国外，如Ulvac、Oxford、Samco等厂商。存在设备价格昂贵，难以提供稳定、持久的国内售后服务，以及后期新工艺开发的支持力度不够等缺点。　　通过2014年逐渐趋于火热的大环境推动，国内主要LED厂商均在扩充产能、提升技术、降低成本。国产LEDPECVD设备的适时推出，将以其优异的机台性能，更具竞争力的设备产能及使用成本，高效快捷的售后服务，协助客户在LED领域不断取得产能、性能、成本方面的竞争优势，实现设备自身在LED领域更多的市场份额，最终形成与客户的共同成长与发展。　　OFweek LED Awards2014行业年度评选网络投票阶段：9月15日-10月15日。在此期间您可以为您关注的企业及产品投上一票！页面即将开放敬请关注！http：///award/2014/lights/wangluotoupiao.html&
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北方微电子
所属行业：
企业性质：私营/民营企业
企业规模：1000人以上
&一、公司简介 北方微电子&等离子刻蚀机&荣获2009年度&国家科技进步二等奖&。 2009年12月公司被国家知识产权局确定为&全国企事业知识产权试点单位&。 公司拥有来自国内外顶尖学府的优秀人才，硕士及以上学历占比达50%。 作为一家快速崛起的微电子设备制造商，北方微电子公司依托本地化的制造基础和便捷服务、国际化的经营理念和人才团队、先进的工艺试验条件和畅通的零部件供应渠道，专注于为半导体和太阳能企业提供国际先进水平的刻蚀设备和薄膜设备，致力于为客户提供全面的设备和工艺技术解决方案。 北方微电子凭借国际一流的硬件环境和管理水平，保障其产品和服务的先进性、可靠性以及安全性。公司建立有半导体和太阳能设备洁净组装厂房以及各类工艺技术研发实验室。公司的主要产品包括半导体制造领域8英寸等离子刻蚀机NMC508B、12英寸等离子刻蚀机NMC612A，晶硅太阳能电池制造领域晶硅太阳能平板式PECVD，LED照明领域的LED刻蚀机和薄膜太阳能平板式PVD设备。 公司已通过法国BVQI公司的ISO9001质量管理体系、ISO14001环境管理体系和OHSAS18001职业安全卫生管理体系认证。主要产品获得了德国TUV公司CE、SEMI S2/S8产品安全和人体工程学认证证书。 北方微电子建立有完善的客户服务体系，在北京、天津、上海等地的服务中心配备有客户服务工程师，并为客户提供量身定做的培训服务和及时快捷的备品备件支持。 展望未来，北方微电子将遵循&精良品质、卓越服务、中国制造&的公司宗旨，持续进行以客户为导向的创新，以高品质的设备、极具竞争力的价格以及卓越的服务赢得国内外用户的信赖。我们愿与客户共同成长，共同发展，为推动中国半导体和太阳能产业的进步做出贡献。 二、招聘职位 管理培训生(北京总部，人力资源部) 职位描述： 职位说明： 入职后主要从事人力资源管理(含招聘、培训、绩效、薪酬等多个模块)、公司战略管理(部门目标制定、战略跟踪)等工作; 招聘要求： 硕士学历，本科硕士都为重点院校者优先。
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