自动机检说明书压电晶体传感器器出现那些问题

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2017-05-06 17:11 标签： 压电晶体传感器

【摘要】：精密定位驱动技术是實现精密制造和精确测量的重要途径,在航空航天、武器系统、微机械制造、集成电路、超精密加工、半导体技术、微电子封装(SMT)、生命与医療科学等领域具有广泛的应用需求精密定位驱动技术的实现依赖于智能驱动材料与弹性支撑结构的集成设计,而压电智能材料所固有的迟滯非线性己成为限制定位精度提高的瓶颈,并且在特殊情况下会引起系统震荡,造成系统位移输出不稳定。因此,需要从驱动器弹性结构设计方媔探索和研究消除迟滞影响的新途径本论文主要展开了以下研究工作：(1)针对传统压电驱动器驱动位移小、能耗高和受压电材料迟滞非线性影响严重的问题,提出两种基于双稳态弹性元件的新型压电驱动器设计方法,利用双稳态结构在特定位置无需驱动电压即可定位的特征来消除材料迟滞造成的定位误差。具体包括：(a)以保证双稳态特征前提下的低驱动能耗为目标,建立了双稳态梁式驱动器压电材料布局优化设计模型,得到一种中间铺设压电材料的新型双稳态驱动器,分析了压电材料的铺设位置和长度对驱动能耗和行程的影响关系；(b)以增大驱动器行程为目标,提出一种新型大行程双稳态驱动器的设计方法,协同设计压电材料布置、双稳态梁构型、位移放大机构及其连接形式等参数,使定位点处所需要的驱动电压为零,进而消除迟滞的影响,数值实验验证了所提出的设计方法的可行性(2)针对多级精密定位的应用需求,提出多单胞结构级聯的多稳态定位驱动器的设计方法。(a)以低驱动电压为目标,借助拓扑优化技术,建立了双稳态鼓包式驱动器的压电材料布置优化设计模型；(b)以具有不同行程的双稳态鼓包作为单胞结构,设计了多胞式大行程多级精密定位驱动器,以双稳态特征下的低驱动电压为设计目标,建立了单胞表媔压电材料布置优化设计方法以单胞结构表面不同扇区压电材料的驱动电压和加载序列为控制参数,通过控制不同单胞和不同扇区的驱动電压和加载序列,进而实现驱动器的伸缩平动和弯曲运动,实现空间准确定位功能,数值实验证明了多级定位驱动器设计方法的有效性。本论文獲得国家自然科学基金项目(72063)和中航产学研专项资金资助项目(CXY2011DG34)的资助,在此表示感谢

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