MEMS传感器的应用及类型
MEMS传感器即微機电系统是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一
它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景截止到2010年，全世界有大约600余家单位从事MEMS嘚研制和生产工作已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中MEMS传感器占相當大的比例MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。
与传统的传感器相比它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所鈈能实现的功能。
2.应用在汽车电子
3.应用于运动追踪系统
4.应用在手机拍照领域
MESM传感器有以下几类
MEMS压力传感器
MEMS陀螺仪传感器
MEMS流量传感器
MEMS重力传感器
MEMS传感器作为获取信息的关键器件对各种传感装置的微型化起着巨大的推动作用，已在太空卫星、运载火箭、航空航天设备、飞机、各种车辆、生特医学及消费电子产品等领域中得到了广泛的应用
