纳米级定位控制系统中驱动元件嘚选择和使用直接影响着控制系统的最终性能指标压电陶瓷驱动器以其体积小,重量轻精度和位移分辨率高等优点成为目前最有前途嘚驱动器件之一。但是压电陶瓷驱动器所固有的迟滞、蠕变等特性制约着该种器件的发展。本研究选用了性能稳定的硬性钨青铜型压电陶瓷驱动器作为驱动元件从压电陶瓷驱动器迟滞产生的微观机理入手,通过对比硬性钨青铜型压电陶瓷驱动器和软性钙钛矿型压电陶瓷驅动器的晶体结构研制出压电陶瓷驱动器抗迟滞驱动方法,设计了相应的软硬件装置以从实验结果上证明这种方法的正确性并对其他影响定位精度的因素进行了特性标定实验。最后对用于压电陶瓷驱动器闭环控制的多功能电容传感器进行了初步的设计。
【学位授予单位】:合肥工业大学
【学位授予年份】:2004
【分类号】:TH703
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