玛雅生命体机台分为哪些腔体需要哪些特气跟化学品

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2020-01-08 04:26 标签： 玛雅生命体

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特气系统知识分享|特种气体存放及使用

针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体通常设计将钢瓶置于特气柜(Gas Cabinet)内，再通过管道将气体供应臸现场附近的阀门箱(VMB, Valve Manifold Box)而后再进入制程机台的使用点(POU, Point of Use)，于进入机台腔体之前会有独立的气体控制盘(GB, Gas Box)与制程控制模块联机，以质流流量计控制器(MFC, Mass Flow Controller)进行流量之控制与进气的混合比例控制通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀门盘(VMP, Valve Manifold Panel)进行供应。

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、VMB阀门箱、隔膜阀、波纹管阀、不锈鋼阀门、卡套接头、VCR接头、不锈钢管、高压软管、阻火器、止回阀、精密过滤器、仪器仪表、气体报警器、气体分析仪、气体纯化器等销售于一体的高新技术企业； 荣获“国家高新技术企业”认定并取得证书

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