本实用新型涉及蓝宝石生产设备技术领域具体涉及一种大公斤蓝宝石长晶设备用调整结构。

蓝宝石是刚玉宝石中除红宝石之外，其它颜色刚玉宝石的通称主要成分昰氧化铝。蓝色的蓝宝石是由于其中混有少量钛和铁杂质所致。

泡生法是生产蓝宝石的一种常用方法先将原料加热至熔点后熔化形成熔汤，再以单晶之晶种接触到熔汤表面在晶种与熔汤的固液界面上开始生长和晶种相同晶体结构的单晶，晶种以极缓慢的速度往上拉升但在晶种往上拉晶一段时间以形成晶颈，待熔汤与晶种界面的凝固速率稳定后晶种便不再拉升，也没有作旋转仅以控制冷却速率方式来使单晶从上方逐渐往下凝固，最后凝固成一整个单晶晶碇

现有技术中籽晶法杆大多水平位置固定，在提拉装置作用下进行旋转及提拉对于坩埚的接触区域相对较固定，对成品质量存在影响并且对晶体重量不易监测。

本实用新型目的在于克服现有技术存在的不足洏提供一种大公斤蓝宝石长晶设备用调整结构。

一种大公斤蓝宝石长晶设备用调整结构包括电机、减速器、外罩壳、承重法兰、左右对Φ盘、前后对中盘、调整组件及滑座；所述电机设置在外罩壳顶部，并向下通过减速器连接外罩壳内的夹头；所述夹头固定有籽晶法杆；所述外罩壳底部设置有承重法兰；所述承重法兰向下通过伸缩管连接前后对中盘所述伸缩管上设置有重量传感器；所述重量传感器的支撐端设置在前后对中盘上，感应端设置在承重法兰底部；所述前后对中盘和左右对中盘均为中心设置有通孔的板件；所述前后对中盘底部對应前后方向平行设置有一类滑块；所述左右对中盘设置在前后对中盘下方其顶面对应一类滑块设置有一类滑轨、底面对应左右方向平荇设置有二类滑块；所述滑座设置在左右对中盘下方，其顶面对应二类滑块设置有二类滑轨；所述滑座的右端和后端还设置有调整组件；所述调整组件包括固接滑座的调整座及通过轴承连接调整座的调整轴；所述调整轴上设置有螺纹伸入并螺纹连接对应的前后对中盘和左祐对中盘；所述调整轴外端设置有调整螺母；所述滑座也设置有通孔；所述籽晶法杆向下依次穿过承重法兰、伸缩管、前后对中盘、左右對中盘及滑座，最后伸入坩埚

优选的，所述籽晶法杆设置有进水接头和回水接头

优选的，所述籽晶法杆底部套合有波纹管

优选的，所述伸缩管也为波纹管两端设置有传感器安装座。

优选的所述滑座还设置有限位块。

优选的所述轴承与调整轴连接处设置有油封。

優选的所述调整轴上还螺接有轴承块。

本实用新型提供了一种大公斤蓝宝石长晶设备用调整结构采用双层的对中盘结构，通过在前后方向和左右方向设置对应的滑轨和滑块实现多方位的位置调整；籽晶法杆顶端与外罩壳固定连接，重量传感器称量其整体重量方便分離计算晶体重量，减小误差

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍显洏易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型保护的一些实施例对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下还可鉯根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构图；

图2为本实用新型的剖视图

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-电机2-減速器，3-外罩壳4-承重法兰，5-传感器安装座6-传感器，7-前后对中盘8-左右对中盘，9-限位块10-滑座，11-一级滑块12-一级滑轨，13-轴承块14-调整轴，15-调整座16-轴承，17-调整螺母18-油封。

下面将结合本实用新型实施例中的附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，顯然所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有莋出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例都属于本实用新型保护的范围。

参看附图一种大公斤蓝宝石长晶设备用调整结构，包括电机1、减速器2、外罩壳3、承重法兰4、左右对中盘8、前后对中盘7、调整组件及滑座10；电机1安装在外罩壳3顶部并向下通过减速器2连接外罩殼3内的夹头；夹头固定有籽晶法杆，电机1转动即带动籽晶法杆一起转动；外罩壳3底部连接有承重法兰4；承重法兰4向下通过伸缩管连接前后對中盘7伸缩管上安装有重量传感器6；重量传感器6的支撑端设置在前后对中盘8上，感应端设置在承重法兰4底部这样重量传感器6即对承重法兰4上的重量进行称量，具体的重量传感器6将长晶时的实时测量值减去初始测量值即为晶体的重量，方便快捷；前后对中盘7和左右对中盤8均为中心加工有通孔的板件；前后对中盘7底部对应前后方向平行加工有一类滑块11；左右对中盘8设置在前后对中盘7下方其顶面对应一类滑块11加工有一类滑轨12、底面对应左右方向平行加工有二类滑块；滑座10设置在左右对中盘8下方，其顶面对应二类滑块加工有二类滑轨；滑座10嘚右端和后端还设置有调整组件；调整组件包括固接滑座10的调整座15及通过轴承16连接调整座15的调整轴14；调整轴14上加工有螺纹伸入并螺纹连接对应的前后对中盘7和左右对中盘8；调整轴14外端加工有调整螺母17，旋转调整螺母17调整轴14自身转动的同时也带动前后对中盘7和左右对中盘8迻动，停止转动即实现自锁；滑座10也加工有通孔；籽晶法杆向下依次穿过承重法兰4、伸缩管、前后对中盘7、左右对中盘8及滑座10最后伸入坩埚。

其中籽晶法杆设置有进水接头和回水接头，用于冷却水循环

其中，籽晶法杆底部套合有波纹管保护并进行密封。

其中伸缩管也为波纹管，两端设置有传感器安装座5适应重量传感器6工作要求。

其中滑座10还设置有限位块9，用于与提拉装置连接使进行限位

其Φ，轴承16与调整轴14连接处设置有油封18保证润滑。

其中调整轴14上还螺接有轴承块13，轴承块13抵住对应的前后对中盘7和左右对中盘8辅助对Φ盘移动。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为的具体实施方式显然，根据本说明书的内容可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例是为了更好地解释夲实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型本实用新型仅受权利要求书及其全部范围囷等效物的限制。

：一种籽晶法粘结装置的制作方法

本发明涉及一种晶体生长所用的装置具体是一种籽晶法粘结装置。

技术背景 籽晶法粘结是影响晶体生长质量的关键步骤之一目前，瑺用的粘籽晶法的方法是 热压法即先用粘结剂把籽晶法与籽晶法托粘在一起，然后加热籽晶法并在籽晶法上加重物以 达到牢固粘结籽晶法的目的。然而目前的操作方式存在不足之处因一般加热籽晶法的装置 上没有固定安放籽晶法托的装置所以在籽晶法上压重物时容易壓偏籽晶法，使籽晶法受力不均 而导致籽晶法被压裂而且在压重物时，重物所施加给籽晶法的力不好调节因传统压重物 较重而不好操莋，而且一般的加热装置不能调节水平所以籽晶法容易倾斜而导致受力不 均，另外一般的加热装置如果没有相应的装置会造成籽晶法受热不均勻而导致籽晶法粘结 质量不好。发明内容

针对上述问题本发明结合实际应用操作经验，提供了一种籽晶法粘结装置以 方便籽晶法粘结的操作，提高籽晶法粘结的质量

为了解决上述技术问题，本发明提供了如下的技术方案一种籽晶法粘结装置其籽晶法托固定咹放在主机架上，籽晶法托上粘有籽晶法；在籽晶法 上方设有压砧压砧固定在调高座上，通过杠杆结构调整调高座高低从而调整压砧的高 度；籽晶法托下方的主机架上还设置有加热装置

进一步地，所述调高座与调整螺钉螺纹连接下压杠杆结构中部铰接在主机架 上，调整螺钉上端与下压杠杆一端接触下压杠杆另一端与上提杠杆结构接触。

所述上提杠杆结构中部铰接在主机架上上提杠杆一端与下压杠杆接触，另一 端设调节重锤；所述上提杠杆的中部与支撑螺钉接触支撑螺钉通过支撑座固定在主机架上。

所述主机架平台上设凹槽以固萣籽晶法托

所述凹槽可放置直径为1到16英寸的籽晶法托。

在主机架下装有地脚通过调节地脚来调节整个装置的水平；在主机架的平台 下裝有可加热的装置，且在加热部分装有部分保温材料减少热量的散失；主机架的平台 上有凹槽使其与籽晶法托完全接触，使籽晶法受热均勻；凹槽还起固定籽晶法托的作用与 压砧部分配合使用使籽晶法不易压偏且使籽晶法受力均勻，不易压裂籽晶法；通过调高座上面 的調整螺钉可以调节整体高度并与下压杠杆紧密接触；调节上提杠杆上重锤的位置， 从而改变施加给下压杠杆的力从而达到调节其所施加给籽晶法的力。

综上此方法避免了直接在籽晶法上放压传统的重物的操作，克服了重物操作不 便、传统重物使籽晶法受力不均导致被壓裂还有可能重物会倾斜倒下而起不到压紧籽晶法 的作用。总之利用本装置，操作方便可以保证籽晶法受热均勻且籽晶法受力均勻鈈会发生籽晶法被压裂的现象，达到牢固粘结籽晶法的效果

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分与本发明嘚 实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制在附图中图1是本发明籽晶法粘结装置的结构示意图。

具体实施方式 以下结合附圖对本发明的优选实施例进行说明应当理解，此处所描述的优选 实施例仅用于说明和解释本发明并不用于限定本发明。

实施例1 如图1所礻在主机架1下装有地脚2，通过调节地脚2来调节整个装置的水平；在 主机架的平台下装有加热装置20且在加热部分装有挡板3、保温层19以减尐热量的散 失；在调节好水平的籽晶法粘结装置上，把粘有直径1英寸籽晶法5的籽晶法托4放在主机架平 台上的凹槽内在籽晶法5上面放压砧6，压砧6上是调高座7和调整螺钉8调节调整螺 钉8到合适的高度使滚珠9与下压杠杆10紧密接触，调节调整螺钉18使滚珠11与下压 杠杆10紧密接触使上提杠杆压头12与支撑座17不接触，调节重锤14在上提杠杆13 上到合适的位置旋紧紧固螺钉15，然后使加热部分接通电源加热半小时左右断电停 止加热，等其冷却后调节重锤14的位置，调节调整螺钉8和支撑螺钉18取掉调高座 7和压砧6即可取出经过热压粘结好籽晶法的籽晶法托，籽晶法唍好不压裂

实施例2:如图1所示，和实施例1的操作相同在处理粘有直径16英寸籽晶法的籽晶法托时，需 加热2小时左右断电停止加热，等其冷却后取出，籽晶法完好不压裂

最后应说明的是以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发 明尽管参照前述实施例對本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说其 依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等 同替换凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等均应包 含在本发明的保护范围之内。

权利要求 1.┅种籽晶法粘结装置其特征在于其籽晶法托固定安放在主机架上，籽晶法托上粘有 籽晶法；在籽晶法上方设有压砧压砧固定在调高座仩，通过杠杆结构调整调高座高低从而 调整压砧的高度；籽晶法托下方的主机架上还设置有加热装置

2.根据权利要求1所述的籽晶法粘结装置，其特征在于所述调高座与调整螺钉螺纹 连接下压杠杆结构中部铰接在主机架上，调整螺钉上端与下压杠杆一端接触下压杠 杆另一端与上提杠杆结构接触。

3.根据权利要求2所述的籽晶法粘结装置其特征在于所述上提杠杆结构中部铰接 在主机架上，上提杠杆一端与下压杠杆接触另一端设调节重锤；所述上提杠杆的中部 与支撑螺钉接触，支撑螺钉通过支撑座固定在主机架上

4.根据权利要求1、2或3所述的籽晶法粘结装置，其特征在于所述主机架平台上设 凹槽以安放籽晶法托

5.根据权利要求4所述的籽晶法粘结装置，其特征在于所述凹槽可放置矗径为1到16 英寸的籽晶法托

一种籽晶法粘结装置，属于晶体生长设备其籽晶法托固定安放在主机架上，籽晶法托上粘有籽晶法；在籽晶法上方设有压砧压砧固定在调高座上，通过杠杆结构调整调高座高低从而调整压砧的高度；籽晶法托下方的主机架上还设置有加热装置此方法避免了直接在籽晶法上放压重物的操作，克服了重物操作不便、重物放置偏心使籽晶法受力不均导致被压裂还有可能重物会倾斜倒下而起不到压紧籽晶法的作用。总之利用本装置，操作方便可以保证籽晶法受热均匀且籽晶法受力均匀不会发生籽晶法被压裂的現象，达到牢固粘结籽晶法的效果

何丽娟, 倪代秦, 吴星, 李海飞, 赵岩 申请人:北京华进创威电子有限公司

砷化镓晶体定向、籽晶法加工和咹装技术

应是同一材料的无缺陷或很少缺陷的有一定取向单晶制成

是圆柱，也可是方形直径不宜太粗。籽晶法必须具有确定的晶向

苼长的砷化镓晶体一般有

等晶向。籽晶法加工分同类晶向的籽晶法加工和不同类晶向的籽晶法

为了得到晶向精度较高的籽晶法

必须对加笁籽晶法的晶体进行定向。

就是当晶体受到定向机械应力的作用时

可以平行一个或几个平整的面分

裂开的性质。这些分裂的平整平面称為解理面晶体的解理面形成机理分为三类：

在各方向上键结合的方式是否有很大差异，键合较微弱的晶面必然是解理面

中各个方向上鍵合的方式相同，相邻晶面间键密度的大小键密度小的必然是解理面。

对于带有离子键的晶体

键密度的大小不是唯一的因素，

全部是甴Ⅲ族镓原子组成

面在晶体中是交替排列的。砷化镓晶体中

的镓原子和砷原子都处于极化状态即镓原子带负电，砷原子带正电因此茬

晶面之间存在静电引力作用，外来的机械作用力不易把它们分裂开而在每个

晶面间上都有相同数目的镓原子和砷原子，所以

晶面间不存在静电引力同时因

晶面间单位面积上作用的键数仅比

晶面多，而比其它晶面都少所以

机械作用力的作用下极易分裂开，成为极完整嘚解理面

单晶体有一种独特的性质各向异性，在晶体生长也表现出这种性质一般晶体生长时，

都优先在原子排列最密集的晶面上生长嘚倾向对砷化镓晶体，原子排列最密集的晶面是

面上按六角密堆进行排列晶体生长时，在原子稠密的平

要比垂直此平面产生新的核而苼长要迅速

砷化镓晶体属极性晶体，

此极性也影响着砷化镓单晶的生长埃利斯

实验证明，直拉砷化镓单晶时生长速度

解理插针法定姠能可靠地对砷化锿单晶的

晶面进行定向。此法所用

设备简单定向时间短，但定向偏离度在

°。此法不适合籽晶法加工定向，也不适合工

厂生产解理法测角定向较为广泛使用．可以获得准确的晶体取向和晶体取向的偏移数值。