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高效绝热泡沫发泡剂和摘要：就作了综合阐述，包括更新的基本资料，如何使用不可燃混合物混合物等。介绍基于存在周期估算（）而得出的在环保方面优势的简要信息。举例说明使用、及共沸混合物作发泡剂的优点。也将介绍其典型的热传导系数及与其它替代物的比较。同时也对泡沫的燃烧特性进行验证。经过长期的研究，苏威公司认为是替代的最佳选择，因此已于年月建成了年产数百吨的中试车间，并于年建成工业化生产工厂。关键词：发泡剂；氢氟烃；聚氨酯泡沫塑料引言苏威公司作为聚氨酯泡沫、苯酚泡沫和挤出泡沫发泡剂的制造商，很早就开始进行替代发泡剂的研究。苏威公司在年建立起第一个中试车间，年月建成了年产数百吨的大型中试车间。苏威正在法国塔沃筹建一个商品化生产厂，预计该工厂于年投产。新的发泡剂要进入商品市场必须先要通过毒性试验。的毒性试验结果非常令人鼓舞。目前所获得的毒性数据显示，的毒性作用比还要低。有关天吸入试验研究很快会完成，而所有的试验于年中结束。正在进入欧洲新化学品（）通报程序，已经获得所谓的基本设立水平，产品的注册号为。将很快获得进一步认可──水平证书。这将允许在欧洲市场每年销售多达的数量。完全商品化的时间表是年底。目前，至关重要的是我们有足够数量的产品用于试验以及用于积累为今后大量用于生产产品而进行的试产。苏威公司已获得拜耳公司有关在其全球聚氨酯领域应用的许可证，该许可证暂不包括美国和加拿大。伴随类发泡剂的销售，苏威公司给予其全球客户（美国和加拿大除外）使用许可。本文就作一般阐述，包括更新的基本资料、如何使用不可燃混合物混合物等；介绍基于存在周期估算（）而得出的在环保方面的优势的简要信息，以便让人们了解和理解发泡剂对环境的影响的计算应结合直接和间接方面的影响。在实际应用部分，我们将举例说明使用、及共沸混合物作发泡剂的优点。也将介绍其典型的热传导系数及与其它替代物的比较。同时也对泡沫的燃烧特性进行验证。概述苏威公司致力于开发一种为零的泡沫塑料（聚氨酯、苯酚类、聚苯乙烯聚乙烯塑料）的发泡剂，以替代。由年起，苏威就陆续发表了一系列有关研究开发替代的论文。如表所示，的沸点约为℃，导热系数为·。对早期研究得出的很多物理特性进行了重新计算。表所给的是压力和密度方面最新的准确的数据。表的主要特性名称分子结构相对分子质量沸点℃熔点℃－临界温度℃临界压力℃时气相热导率··－沸点蒸发潜热·－最低起燃能量燃烧极限体积～表的物理参数温度蒸气压液体密度气体密度℃×－－－“研究”显示环保方面的优越性具有年相对较短的大气存留时间和相对较低的温室效应系数──～（，年月报导）。虽然对室温效应的贡献相对而言非常有限，但仍然属于温室效应气体。作为的生产商，苏威公司认为有必要以存留周期估算来量化采用发泡剂发泡的绝热泡沫的概论和环保方面的竞争性。以作为发泡剂和绝热气体用于绝热用途的聚氨酯泡沫的研究项目由四个合作伙伴共同完成，分别是（巴斯夫集团成员），，和苏威氟及衍生物有限公司。由于具有较低的值·，因而它可以给泡沫带来优于其它替代物如碳氢化合物的绝热效果。在作为绝热材料时，在其使用期限中，较其它以碳氢化合物或者水发泡的泡沫节约更多的能量，这足以补偿发泡剂本身的温室效应（）。使用单一的环境参数，如作为化合物的考察标准将会产生误导的。方法提供更为合理和平衡的比较基础。通过全面分析比较证明最具潜力成为高性能聚氨酯泡沫的环保发泡剂，用以替代。不可燃混合物安全与操作的燃烧性能介于我们熟悉的和具燃爆性的碳氢化合物之间。需要强调的是由于分子结构中含有氟原子，其燃烧性比任何一种碳氢化合物都要低。因此的燃烧极限相对较高——空气中体积比为，燃烧热亦较低。欧洲现有标准把纯的定义为“可燃液体”。但同时，根据所谓的“欧洲”标准，的可燃性不会明显影响到泡沫本身的燃烧性能。苏威已决定向全球供应由与混配而成的不可燃混合物、混合物与及正戊烷的燃烧性比较见表。表几种发泡剂燃烧性能的比较性能指标沸点℃密度℃燃烧下限％燃烧下限空气燃烧上限％闪点℃最低起燃能量自燃温度℃燃烧热欧无无正戊烷对而言，空气中含量为体积比时起燃能量最低。℃时最低起燃能量（）为。相比之下，正戊烷室温下的起燃能量为，因此只需非常低的能量就可将其点燃。虽然相对于碳氢化合物而言，的燃烧危险性显得并不重要，但根据欧洲法规，必须按可燃性液体对待，进行操作。在欧洲，可燃物通常用符号和危险性代码表示。混合物的性质采用不可燃的发泡剂作为的替代物具有特别重要的意义。因为不可燃的发泡剂既可用于一般标准要求的生产设备，也可用于要求发泡剂使用安全和易于处理的严格标准的生产场合。含有的混合物没有闪点，因此属于不可燃液体。应该注意的是该混合物是非共沸混合物。如果其中的在使用中蒸发掉就会变成可燃液体。为了安全起见，苏威公司推广的加有的，以便有的安全余量。该混合物的起沸点约℃。表列出了该混合物的重要参数。表混合物（）主要特性混合物组成分子式质量比沸点范围℃密度℃－蒸气压℃气相热导率··－℃起燃温度℃最少起燃能量℃燃烧热·－燃烧极限体积闪点无虽然该混合物是不可燃，但其在空气中的可燃极限为％～％体积比，类似于。最小起燃能量值也是全面评价产品可燃性的重要依据。上述参数是在一个官方检验室对多种组成进行检测而得出的数据。由于是非共沸混合物，同时也因为混合物中不可燃的组分是最易挥发的，如果可以蒸发（在开放环境下），则混合物的组成将会改变。为了避免混合物变成可燃物，混合物只能在封口封紧的密闭容器内存放。盛装的桶必须加以保护，避免破损、过热和阳光直射。不能在℃及以上的环境下打开桶盖。储存的桶里，气相中含有逐渐增多。随着时间的推移或经多次分装，将导致储罐中的液体变成可燃物。图发泡剂在聚氨酯原料中的溶解度众所周知，在聚氨酯原料和聚氨酯泡沫中都是具有很高的溶解度。这对工艺有好处，但会导致泡沫的部分塑化。在聚氨酯原料中的溶解度更为适当，发泡泡沫具有非常精细的泡孔。与相比，在多数应用中可以降低泡沫密度。液态在泡沫中的特性更象。与液态的化合物相比，碳氢化合物在聚氨酯原料中的溶解度很有限。环戊烷是个例外，然而由于其对泡沫基体有很高的致软性，导致泡沫存在稳定性问题而至今尚未在阻燃泡沫上使用。使用及其混合物的发泡试验对泡沫进行评估需要连续不断地进行工业化规模的试产。试产证明，由于合适的溶解度，所有泡沫都有精细的泡孔。泡沫的值最引人注目，均以的参数为基准进行比较。由以往论文的报道和半技术性试验得出的结论，已经证明了在泡沫中的老化性能与一样好，而其发泡泡沫的值则明显优于用碳氢化合物发泡的泡沫。新的试验（试产）是在商品化生产工厂进行的，以检查及其混合物的适应性。试产采用标准的原料和现有的配方在现有的工厂上进行。我们主要进行了层状发泡、钢板三明治发泡和喷涂泡沫的试产。层压泡沫板采用高压发泡设备，生产出常用泡沫密度和厚度为的泡沫。经过一些改进后，把纸面改为铝薄板。表列出了相关的参数。铝薄板面发泡泡沫的物理性能在预料的范围内。特别令人高兴的是导热系数上的收获。起始值是按标准程序在℃时测出，和标准泡沫的差别仅为·。表厚度的连续发泡泡沫板参数纸面纸面铝薄板面发泡剂质量份密度·－压缩强度水平闭孔率℃时的导热系数初始值··―钢板三明治泡沫板钢板面泡沫板在连续泡沫板生产线上生产出来，建筑用夹心板泡沫厚度为的泡沫的性能见表。泡沫与金属面的粘合也很好。在℃导热系数的初始值低于·。表连续生产聚氨酯夹心板项目指标质量份密度·－压缩强度闭孔率℃时的导热系数起始值··―房顶喷涂泡沫房顶喷涂泡沫的试验采用与相同的系统，只是发泡剂改用了。比较在相同的条件下喷出的类泡沫和泡沫。周后在℃时测得的泡沫的值小于·，对于密度如此之高的泡沫而言，该值是非常好的了。喷涂泡沫的表面也没有出现“爆米花”的现象。表列出了其中最重要的参数。表屋顶喷涂泡沫的性能，层，总厚度为层，总厚度发泡剂质量份密度·－压缩强度密孔率周后℃的导热系数··－混合发泡剂的比较．以下的试验是在相同紧压面条件下和基于份异戊烷的原系统上进行的。．不可燃混合物的用量相对于多元醇的量为份。．共沸发泡剂的试验是以份碳氢化合物为起始，加入直至到达共沸点的比例。水的份量尽量减少以达到相同的密度。．其中一个正戊烷共沸发泡剂的配方中加入了过量的作改进。．所有泡沫的密度在左右。所有值均在进行周储存后，并在℃下进行测定。表和表显示了不同混合发泡剂对值的影响。表泡沫板不同发泡剂的比较原样，异戊烷环戊烷的共沸物发泡剂及比率质量份密度·－周后℃的导热系数··－表泡沫板不同发泡剂的比较异戊烷的共沸物正戊烷的共沸物过量正戊烷的共沸物发泡剂及比率质量份密度·－周后℃的导热系数··－根据上述泡沫板的试验可知，的值最低。与环戊烷组成的共沸混合物在不需考虑发泡剂可燃性及要求达到最高的绝热性能的场合中可作为首选发泡剂。用加入以降低戊烷发泡中可能降低的水的含量，可使在现今戊烷发泡系统生产成本相当的条件下改善泡沫的性能。在需要采用不可燃发泡剂的场合，所有应用均可采用混合物。结论在以往文章的报导中对进行评估而得到了令人鼓舞的结果。这结果令我们决定在法国建立了中试车间生产。该中试车间一直都在生产运行中，使我们每年有几百吨的数量，供应给我们的客户，以便这些客户能在他们的设备上对进行系列、完整的实验和评价。为了检验产品在全球气候变化中对环境的影响，在欧洲合作伙伴的共同努力下，对进行了存留周期估算（）。该研究确认了以其杰出的绝热性能使之成为未来性能卓越、利于环保的发泡剂替代物。不可燃混合物（）相信是替代的最佳选择。因为按照欧洲法规，可按不可燃产品进行操作，而只需采取基本的预防措施。采用发泡的泡沫的基本性质类似于发泡泡沫的性质。前提是与配合的多元醇混合物需经优化。优化处理要考虑的两个基本特性：较低的极性使其在多元醇中的溶解度有一定的限度，以及较高的沸点可能导致在某些情况下温度很低时会冷凝。采用作发泡剂比采用碳氢化合物容易生产出高阻燃性的泡沫。在将来欧洲采用新的防火分级标准（测试和欧洲分级）后，这一点可能也将是评定发泡剂中非常重要的标准。参考文献
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一、六氟化硫断路器气体& & 六氟化硫用作断路器中灭弧介质始于20世纪50年代初。由于这种气体的优异特性，使这种断路器单断口在电压和电流参数方面大大高于压缩空气断路器和少油断路器，并且不需要高的气压和相当多的串联断口数。在60～70年代,SF6断路器已广泛用于超高压大容量电力系统中。80年代初已研制成功363千伏单断口、550千伏双断口和额定开断电流达80、100 千安的SF6断路器。　　SF6特性SF6气体比空气重5.135倍,一个大气压时，其沸点为-60℃。在150℃以下时,SF6有良好的化学惰性，不与断路器中常用的金属、塑料及其他材料发生化学作用。在大功率电弧引起的高温下分解成各种不同成分时，电弧熄灭后的极短时间内又会重新合成。 SF6中没有碳元素，没有空气存在,可避免触头氧化。SF6的介电强度很高,且随压力的增高而增长。在1大气压下,SF6的介电强度约等于空气的2～3倍。绝对压力为3大气压时，SF6的介电强度可达到或超过常用的绝缘油。SF6 灭弧性能好，在一个简单开断的灭弧室中，其灭弧能力比空气大100倍。在SF6中，当电弧电流接近零时，仅在直径很小的弧柱心上有很高的温度，而其周围是非导电层。这样，电流过零后，电弧间隙介电强度将很快恢复。二、六氟化硫断路器的特点　　& &1、开断能力强　　& & &六氟化硫断路器是通过吹出SF6气体来完成吹弧，它的吹弧速度快、燃弧时间短、开断电流大，能有效保护中、高压电路的安全。六氟化硫断路器在断开电容或电感电流后，不存在重燃和复燃的危险。　　& &2、电气寿命长　　& & &六氟化硫断路器的使用寿命很长、检修周期长，并能适应短时间内的频繁操作，有良好的安全性和耐用性。六氟化硫断路器在50kA满容量的情况下能连续开断19次，断开的电流累计达到了4200kA。　　& &3、绝缘水平高　& &　六氟化硫断路器是使用六氟化硫气体作为绝缘介质，这种气体的绝缘水平极高，在0.3MPa气压下，能轻松通过各种绝缘实验，并有较大的裕度。　　& &4、密封性能好　& &　六氟化硫断路器的结构简单、密封性好，灭弧室、电阻和支柱成独立气隔，且六氟化硫本身的含水量较低。六氟化硫断路器的安装和检修方便，不需打开断路器的内部结构，能保持六氟化硫断路器内部良好的密闭性。三、六氟化硫断路器的作用　　& 六氟化硫断路器适用于开断重要负荷的场所，作为发电厂、变电所等输变电系统的控制和保护开关，亦可作为电力系统的控制和保护之用的联络断路器。四、六氟化硫断路器的优缺点　　& &优点：开断能力强，断口电压便于做得较高，允许连续开断次数较多，适于频繁操作，噪音小。无火灾危险等。　　 &&缺点：它的电气性能受电场均匀程度及水分等杂质影响特别大，故对SF6断路器密封结构。元件结构及SF6气体本身质量的要求相当严格。五、六氟化硫断路器的检修　　（1）　SF6断路器在检修前，应先将断路器分闸，切断操作电源，释放操作机构的能量，用HC系列SF6气体回收充气装置将断路器内的气体回收，残存气体必须用真空泵抽出，使断路器内真空度低于133.33Pa。　　&（2）　断路器内充入合适压力的高纯度的氮气（纯度在99.99%以上），然后放空，反复两次，以尽量减少内部残留的SF6气体及其生物。 信息来自：输配电设备网　　（3）　解体检修时，环境的空气相对湿度不得大于80%，工作场所应干燥、清洁，并应加强通风；检修人员应穿尼龙工作衣帽，戴防毒口罩、风镜，使用乳胶薄膜手套；工作场所严禁吸烟工作间隙应清洗手如面部，重视个人卫生。　　（4）　断路器解体中发现容器内有白色粉末状的分解物时，应用吸尘或柔软卫生纸拭净，并收集在密封的容器中深埋，以防扩散。切不可用压缩空气吹或用其他使粉末飞扬的方法清除。　　（5）　断路器的金属部件可用清洗剂或汽油清洗。绝缘件应用无水酒精或丙酮清洗。密封件不能用汽油或氯仿清洗。一般应全部换用新的。　　（6）　与SF6气体接触的零部件及密封圈可涂一薄层HL#8或HL#10聚四氟乙烯润滑脂密封圈外侧法兰面应涂中性凡土林或#2防冻脂。引进的国外产品应根据使用说明书的要求选用适当油脂。法兰拼命缝隙及法兰连接螺丝等处应涂703密封胶密封。　（7）　断路器容器内的吸附剂应在解体检修时更换，换下的吸附剂应妥善处理防止污染扩散。新换上的吸附剂应先在200～300℃的烘箱中烘燥处理12小时以上，待自然冷却后立即装入断路器，要尽量减少在空气中的暴露时间。吸附剂的装入量为充入断路器的SF6气体质量的1/10。六、六氟化硫断路器的常见故障　　（1） 若合闸操作前红、绿指示灯均不亮，说明控制回路断线或无控制电源（如控制保险断）。可检查控制电源和整个控制回路上的各个元件是否正常，如操作电压是否正常，熔丝是否熔断，防跳继电器是否正常，断路器辅助触点是否良好，有无气压降低闭锁等。　　（2） 当操作合闸后红灯不亮，绿灯闪光且事故喇叭响时，说明操作手柄位置和断路器的位置不对应，断路器未合上。其常见原因有合闸回路熔断器的熔丝熔断或接触不良；合闸接触器未动作；合闸线圈发生故障。　　（3） 当操作断路器合闸后，绿灯熄灭，红灯亮，但瞬间红灯又灭绿灯闪光，事故喇叭响，说明断路器合上后又自动跳闸。其原因可能是断路器合在故障线路上造成保护动作跳闸或断路器机械故障不能使断路器保持在合闸状态。　　（4） 若操作合闸后绿灯熄灭，红灯不亮，但电流表计已有指示，说明断路器已经合上。可能的原因是断路器辅助触点或控制开关触点接触不良，或跳闸线圈断开使回路不通，或控制回路熔丝熔断，或指示灯泡损坏。　　（5） 分闸回路直流电源两点接地。微风摇曳，淡烟笼罩下的雨丝，清凉如秋。坐在雨声的一隅角落里，聆听这如梦如幻的天籁之音，情暖微漾。指尖拂过暗合的诗卷，平静而美好。&雨过琴书润，风来翰墨香。不管是滂沱大雨，还是绵绵细雨，令人将往日的思绪归拢到那漫着书香的扉页中。心，也从喧嚣的尘世间，回归最初的宁静。任世间风声雨声，我自淡定从容、波澜不惊。
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3手机：传真：7QQ MSN：中国三氟化氮（NF3）行业发展现状及前景预测分析报告年
中国三氟化氮（NF3）行业发展现状及前景预测分析报告年
【报告编号】: 55430
【出版时间】: 2014年12月
【出版机构】: 中研智业研究院
【交付方式】: EMIL电子版或特快专递
【报告价格】:【纸质版】: 6500元 【电子版】: 6800元 【纸质+电子】: 7000元&&&&&&
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第一章 三氟化氮产品概述
1.1 电子特种气体&&三氟化氮概述
1.2 三氟化氮的产业与市场简述
1.2.1三氟化氮的应用领域
1.2.2三氟化氮的市场简况
1.2.3 三氟化氮的产业简况
1.3 三氟化氮行业的特点
1.3.1 行业兴衰与半导体、光伏、液晶显示产业发展有着关系密切
1.3.2 三氟化氮产品优势得到发挥
1.3.3 市场垄断性强
1.3.4 近年全球三氟化氮应用市场在迅速扩大
1.4 在当前环境保护要求的形势变化下三氟化氮产品发展前景成为变数
1.4.1 三氟化氮成为气候变化新威胁UNFCC已将其列入&监管&气体之中
1.4.2 三氟化氮替代产品得到发展
第二章 电子特种气体、氟化工品应用市场
2.1 电子特种气体概述
2.2 电子特种气体制造中的主要技术方面
2.3 电子特种气体的纯净度要求
2.4 电子特种气体产品市场竞争的焦点问题
2.4.1 对电子特种气体杂质、纯度要求的问题
2.4.2 气体配送及供应问题
2.4.3 储存、使用中的安全性问题
2.4.4 成本性问题
2.5 国内外电子特种气体行业发展概述
2.5.1 境外电子特种气体生产与市场情况
2.5.2 国内电子特种气体行业及其发展
2.6 氟化工产业概述
2.6.1 氟化工产业中的重要产品
2.6.2 我国氟化工产业发展情况
第三章 三氟化氮的主要特性
3.1 物理特性
3.2 毒性及危险性
3.3 反应性
3.4 相关的安全性
3.5 主要性能及标准
3.5.1 对纯度的一般质量指标要求
3.5.2 美国气体及化学产品公司的NF3的工业标准及产品不同等级标准要求
3.5.3 SEMI的三氟化氮标准
3.5.4 三氟化氮 我国国家标准（GB/T ）
第四章 三氟化氮的主要生产工艺方法
4.1 NF3的制备方法
4.1.1 概述
4.1.2 直接化合法
4.1.3 氟和氟化氢铵法
4.1.5 电解法
4.2 NF3粗品纯化工艺加工
4.2.1 NF3粗品纯化工艺法的种类
4.2.2 低温精馏法
4.2.3 化学吸收法
4.2.4 化学转化法
4.2.5 选择吸附法
4.3 安全生产的问题
4.4 在半导体晶元工厂的供应系统
第五章 三氟化氮的主要应用领域概述
5.2 三氟化氮在集成电路中的应用
5.2.1 集成电路芯片制程
5.2.2 化学气相沉积和气体应用
5.3 作为清洗剂、刻蚀剂在半导体制造中的应用
5.3.1 替代PFC作为清洗剂
5.3.2 等离子增强化学气相沉积（PECVD）
5.3.3 在PECVD的干刻蚀、清洗加工中的应用
5.3 三氟化氮在液晶显示器中的应用
5.4 高纯NF3在薄膜硅太阳电池中的应用
5.4.1 非晶硅薄膜太阳能电池
5.4.2 Si薄膜的材料特性
5.4.3 非晶硅薄膜太阳能电池制作工艺及高纯硅烷其应用
5.5 用三氟化氮作氟化剂
5.5.1 六氟化钨的理化性质及用途
5.5.2 NF3是制造WF6
5.5.3 世界WF6 的生产现况
5.5.4 国内生产WF6的情况
5.6 三氟化氮作为氟源在化学激光器中应用
5.7 NF3在IC和TFT-LCD应用市场扩展的三阶段
5.8 NF3在不同应用领域中应用量的比例
第六章 世界及我国NF3的半导体市场调查与分析
6.1 世界半导体硅片生产与市场发展
6.1.1 世界半导体生产的现况
6.1.2 世界半导体硅片的生产状况
6.2 我国半导体晶圆生产与市场现况与发展
6.2.1 我国集成电路市场、产业发展现状
6.2.2 我国集成电路晶圆制造业情况
6.2.3 我国集成电路晶圆主要生产厂家情况
第七章 世界及我国NF3的液晶显示器市场调查与分析
7.1 世界平板显示器产业发展现况
7.2 我国平板显示器产业现况与未来发展预测
7.2.1 我国液晶显示产业发展概述
7.2.2 我国LCD面板生产现况与未来几年发展预测
7.2.3 我国发展平板显示产业的相关政策及未来发展的预测、分析
第八章 世界及我国NF3的薄膜硅太阳电池市场调查与分析
8.1 国内外光伏产业的发展
8.1.1 世界光伏产业的快速发展
8.1.2 我国光伏产业发展环境与现况
8.2 薄膜太阳能电池的生产与市场
8.2.1 薄膜太阳能电池特点及品种
8.2.2 薄膜太阳能电池未来市场发展前景
8.2.3 薄膜太阳能电池生产及在光伏市场上的份额变化
8.3 国内外薄膜太阳能电池的主要生产企业
8.3.1 境外薄膜太阳能电池生产厂家概况
8.3.2 国内薄膜太阳能电池生产厂家概况
第九章 世界NF3的生产现状与发展
9.2 世界三氟化氮生产现况
9.3 美国的NF3生产现状与厂家
9.3.1 美国AP公司
9.3.2 杜邦公司
9.4 日本的NF3生产现状与厂家
9.4.1 关东电化工业公司
9.4.2 三井化学公司
9.4.3 中央玻璃公司
9.5 韩国的NF3生产现状与厂家
9.5.1 AP公司韩国蔚山分厂
9.5.2 韩国SODIFF新素材有限公司
9.6 台湾的NF3生产现状与厂家
第十章 我国国内NF3的生产现状与发展
10.1 国内NF3生产的发展
10.2 国内NF3生产需求市场
10.3 国内NF3的主要生产厂家
10.3.1 国内NF3的生产厂家概述
10.3.2 中核红华特种气体股份有限公司
10.3.3 湖北沙隆达天门农化有限责任公司
10.3.4 中国船舶重工集团第七一八研究所
10.3.5 其它厂家
10.4 国内与NF3气体相关的科研、协会机构
附件：中华人民共和国国家标准：《电子工业用三氟化氮 》（GB/T）
图2-1 半导体制造业用特种气体按其使用时的特性分类情况
图2-2 全球半导体工业用主要几种高纯度气体的市场规模变化情况
图2-3 氟化工产业链的构成情况
图3-1 NF3分子结构图
图3-2 SEMI标准中NF3中 CF4、CO2、N2O、SF6和 CO 的分析流程图
图4-1 气-固反应器图
图4-2 气-液反应器图
图4-3 气-液反应法的生产流程图
图4-4 电解槽结构图
图4-5 低温精馏过程示意图
图4-6 色谱分离气体流程图
图4-7 典型半导体晶元工厂的特气供应系统流程图
图5-1 三氟化氮的主要应用领域
图5-2 IC硅片制造前工程的过程
图5-3 各种CVD法反应装置的原理
图5-4 PECVD装置
图5-5 三氟化氮在半导体芯片加工制造环节中的应用示意图
图5-6 TFT 阵列构成
图5-7 等离子体CVD加工工序及SiH4等电子特气的供应系统
图5-8 所示了采用等离子体CVD法制作TFT阵列的实际装备例
图5-9 TFT 阵列形成过程及NF3在采用等离子体CVD法形成TFT 阵列形成中作用
图5-10 Si基薄膜的种类、特征及晶体结构
图5-11 Si基薄膜太阳能电池的基本结构
图5-12 非晶硅薄膜太阳能电池制作工艺过程
图5-13 NF3不同应用领域中应用量的比例
图6-1 全球半导体市场规模和年增幅统计预测
图6-2 世界不同直径尺寸硅片市场发展趋势
图6-3 年全球硅片出货量变化率
图6-4 年全球硅片销售收入变化率
图6-5 全球硅片出货量按尺寸计预测
图6-6 年我国半导体及集成电路产销情况
图6-7 年我国集成电路晶圆业发展规模
图6-8 我国主要集成电路晶圆的生产厂家分布情况
图7-1 2009年-2014年世界液晶显示器面板出货量统计及预测
图7-2 年平板电视在世界主要国家、地区的普及情况
图7-3 年我国LCD面板的市场规模统计、预测
图7-4 我国TFT-LCD面板的产能统计及未来几年发展预测
图7-5 2006年&2014年我国TFT-LCD面板各代线在国内总产能的比例变化
图7-6 我国主要集成电路晶圆生产厂家分布情况
图8-1 全球光伏市场构成
图8-2 年全球及我国光伏市场规模变化
图8-3 2014年全球各主要国家及地区光伏发电安装量的份额
图8-4 2014年全球主要电池组件企业市场份额分布情况
图8-5 年中国太阳能电池出货量
图8-6 年中国太阳能电池产量的统计及预测
图8-7 年世界薄膜太阳能电池产能统计及预测
图8-8 年世界薄膜太阳能电池产量统计及预测
图9-1 2005年至2014年世界NF3实际生产量及生产能力的统计
图9-2 2006年至2014年世界NF3实际生产量及生产能力年增长率变化
图9-3 2014年 世界主要生产企业NF3产品的市场份额
图9-4 世界NF3主要国家、地区的生产产能及产能占世界总产能比例
图9-5 日本1999年～2014年的NF3实际产量（国内部分）统计
图10-1 我国NF3气体市场需求量的统计及预测
表2-1 电子特种气体的主要品种及分类
表2-2 常见的电子特种气体不同纯度要求的分类
表2-3 国外主要大型电子特气企业在主导生产工艺路线及所达到纯度的情况
表3-1 NF3物理性质
表3-2 4N高纯NF3的主要质量指标要求
表3-3 AP公司的NF3的工业标准
表3-4 AP公司四个等级的NF3技术标准指标要求
表3-5 SEMI标准中规定的NF3的物理常数值
表3-6 SEMI标准中的技术要求和化学技术要求
表3-7 三氟化氮国标标准（GB/T ）的情况
表3-8 GB/T 中规定的三氟化氮的技术指标
表3-9 GB/T 中的三氟化氮的主要物理参数
表4-1 NF3的各种制备方法及其采用主要生产厂家
表6-1 2014年世界主要大型半导体厂家的销售收入统计
表6-2 年世界硅片出货量及销售收入情况
表6-3 SEMI对世界硅片的出货量的统计及预测
表6-4 硅片尺寸﹑质量要求与所对应的集成电路工艺技术的发展
表6-6 年我国国内半导体级晶圆产量变化统计
表6-7 我国集成电路晶圆制造业在半导体产业中占有的比重情况
表6-8 2000年-2014年我国晶圆生产线建线增长情况
表6-9 我国集成电路晶圆制造6英寸以上生产线产能和工艺技术水平情况
表6-10 至2014年底我国主要集成电路晶圆的生产厂家产能情况
表7-1 LCD中下游市场的划分
表7-2 全球平板显示器在不同应用的需求市场的规模
表7-3 2014年全世界G5以上TFT-LCD产能比较
表7-4 我国TFT-LCD液晶面板线分布
表7-5 我国主要集成电路晶圆的生产厂家产能情况（至2014年底）
表8-1 2014年全球各主要国家及地区光伏发电安装量统计
表8-2 2012全球主要电池组件企业产能产量情况
表8-3 年我国太阳能电池出口情况
表8-4 年我国太阳能电池进口情况
表8-5 近几年全球薄膜太阳能电池产量及市场份额
表8-6 国外主要薄膜太阳能电池生产厂家
表8-7 境外薄膜太阳能电池生产厂家情况
表8-8 我国国内薄膜太阳能电池生产厂家的情况
表9-1 2014年世界NF3主要生产企业的产能、产量情况
表10-1 国内三氟化氮主要生产企业及产能情况(以2014年为计)
表10-2 在我国国内与NF3气体业相关的协会机构
表10-3 我国开展过对NF3气体研究的相关科研单位
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