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时间:2011-10-02 20:52
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姓名:郭立萍
职称:讲师
学习经历
:,理学学士
:,理学硕士
:中科院上海光学精密机械研究所,工学博士
承担课程
工作至今,曾讲授过的课程有:《量子力学》,《力学》,《光电技术》,《大学物理》等
研究方向
主要从事光学光刻技术方面的研究。
研究项目
学术交流
论文、专著
[1] Liping Guo, Xiangzhao Wang, Huijie Huang. Analysis of illumination pupil filling ellipticity for CD control in . Chinese Optics Letters, 2006, vol 4(4).
[2] Liping Guo, Huijie. Huang, Xiangzhao Wang. Exposure dose control for step-and-scan lithography. Proc. SPIE, 3, 2004.
[3] 郭立萍,,. 照明光瞳非对称性对光刻成像影响. 光学学报,2006 vol 26(6).
[4] 郭立萍, , . 积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用. 光子学报, 2006 vol 35(7).
[5] 郭立萍, 黄惠杰, 王向朝. 步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制技术研究. 激光杂志, 2004 (12).
[6] 郭立萍, 黄惠杰, 王向朝. 光学光刻中的离轴照明技术. 激光杂志, 2005 (1).
[7] 郭立萍, 王向朝. 步进扫描投影光刻机中的杂散光原位检测方法. 发明专利No.. X.
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