版图里nmos管的n+ implant层和diffusion 层的区别

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2015-02-17 08:59 标签： nmos pmos
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0度角比7度角均匀性好？为什么？
NV6200的设备，使用N型衬底片，电阻率是5--6的，长580的氧化层，同样一个程序，只是角度的区别，使用RTA退火，然后漂掉氧化层，用四探针测试，结果是0度角的均匀性为0.56%，7度角的就在1.0%--1.1%，没太想明白，我一直以为7度角，没有沟道效应之后，均匀性应该是更好，分布更均匀才是，不知道这么想对不对？从结果来看是不对了，哪位大侠能帮忙解释一下，谢谢！！！
提示一下，你测测光片的阻值均匀性是不是更好
RS值有差吗？多少
center edge差多少？
期待中……
消除沟道相应最有效的两个方法：1是硅片长氧化层。2是改变注入角度，一般情况7°注入就可以消除。实验表明氧化层可以有效的消除沟道效应，而7°注入只是消除沟道效应的常见角度，根据注入元素，硅片晶向不同，实际要达到更好效果，你可能需要设置更准确的角度，比如6.5度。
即使7度角注入是最合适的注入角度，而两个注入方式在同样退火条件完成快速退火，数据应该会有一点偏差，从结果看，建议你把7°的退火时间适当加长，比如多5秒。
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硼硅玻璃去除
我们在用固态源硼片做了硼扩散之后想用BOE去除表面硼硅玻璃，但是浸泡了几分钟之后发现硅片还是没有脱水，不知道大家有没有遇到过这类问题，希望有高手能指点一下，十分感谢。
那就增加时间嘛，或者你的溶液问题呢，是不是用过很久了，温度什么的也会影响腐蚀速率滴
回复 # t" L7 _. W4 z/ s" m
! t7 s4 v( _" @2 T, I
哦，是不是硼硅玻璃很难去，你们用多大浓度的HF？
+就你说49%HF+40*%的氟化铵 应该是这个，我当时在学校时干过，几个月没碰过了
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哦，十分感谢。
* b8 r$ k* a% S&&n
没得没得~没帮上忙还
1:10 HF& &再双氧水试试呢？
回复 &&^" L1 K4 e' u. v1 m& I/ L. z
哦，双氧水是加在HF里吗？
不是，再走一步双氧水，纯双氧水。
哦，双氧水在这里起什么作用呢？
# i2 o: T4 V" m/ t
中和1：10HF，虽然走完1:10HF 冲水但是甩干过不去，我们甩干是走洁净度的，浓酸即使冲很多遍也很难达到标准，所以用H2O2中和一下。
你固态硼沉积时的气体比例或者流量可能不对，通常在固态硼沉积后会做Deglaze，也就是去玻璃（硼硅玻璃），然后再推进（扩散）；这样可以将沉积后表面的富硼层或硼损伤层去除，会对器件的电参数有帮助；当然，有的工艺也可以在沉积后不去玻璃，但换扩散炉做推进（扩散）时建议先通湿氧，这样扩散后在稀释的HF中去玻璃就方便了。如果这样去玻璃不掉，可以肯定沉积做错。
十分感谢，我们正准备做相关实验
Powered byPoly tube多久报废
请问各位，你们的poly tube都多久报废，或者长到多少厚度报废？？？
kelvinhjlee at
以每次运行的厚度计算。程序不同可以在第一次循环进行统计。然后按照现有标准统计运行次数就可以达到按期更换了。
zxl123_ren at
这些知道的&&是想问你们多少厚度报废 比如40U 报废
比如 清洗10次报废 等等~~~
wl990152 at
这个炉管洗的时候危险，价值不大。我们从来不洗。
zxl123_ren at
QUOTE:原帖由 wl990152 于
11:04 发表
这个炉管洗的时候危险，价值不大。我们从来不洗。 哎~~ 我们也知道危险啊，是王水在洗啊，你们不洗那是你们公司有钱啊，我们公司没钱所以就要我们洗
苦啊~~~ 继续请教各位，以每个run 1500A的厚度来计算 14U 洗管的话，大概要洗几次报废。。。。
poly tube这事捆饶了我们N久了，时间定短了吧，没钱买那么多tube，时间定的太长吧，洗的次数太多，会对
厚度有很大影响，这使的PE很难调机，所以想请教大家的是怎么样管控的。
计算过清洗成本吗？&&我们也从来不洗，洗一次基本上是1/3的炉管钱
洗了后很不好，极易破
zxl123_ren at
拿什么洗啊 能有1/3 tube 的钱？ 那酸也太贵了
看机台而定吧。一般我觉得如果工艺不能TROUBLESHOOT的话，最后只有清洗了。
zxl123_ren at
呵呵 我们PE 从来不trouble shooting，都是我们在洗管，所以我想问下有没有其他兄弟也有类似的状况，大家一起研究一下poly tube life time，没想到各位都是给有钱的东家打工，基本不洗，我们就惨了，每根poly半个月就要洗一次，尤其是injector时特别难拆，都长死了.一不小心就断了。在说还要用王水去倒，这样对人也有比较大的危险
xyjcomeback at
我们是用ClF3 dry clean, 每次换injector. 大约10~20um dry clean 一次(不同制程不一样) 换管嘛, 就Major PM的时候换，基本都能到200um以上. 换下来不洗，直接报废了.
geyinliang at
嘿嘿,POLY炉管温度降下来以后基本就自裂了,我们这里每次都这样
XWF1978 at
哇！难道poly真的很难洗吗？用啥酸洗？配比多少？
不知poly sic浆多少时间（或多厚）洗一次？难道你们也不洗吗？？？
我们是3500A*55炉，清洗一次tube。
清洗4次扔掉，4mm厚的tube。
cc2058tw at
我們在台灣多使用HF來clean tube,4mm tube 至少可以洗3~4次,
POLY 也不會很難洗
zxl123_ren at
羡慕啊 你们真好 洗4-5次就报废了& &我们一般都洗10多次
一般洗到4-5次的时候 injector和tube的接头会因为清洗过度而断掉
没关系~~！！！ 送出去修好继续用
什么时候洗的tube run出来的片子厚度都乱七八糟了 才报废
悲哀啊~！！！！！
cassano217 at
用HF洗就好啊 不过洗后的容易破 还是新的好
zhanghr at
建议使用SIC材料，基本可以连续用一年左右
不像有钱的人扔掉
也不像没钱的坏了在补
我们用到20万就洗
洗了再用直到老大说不能行了就敲掉
timon1980 at
见过三星淘汰的旧机器，立式POLY的炉子，里面的管子很强，那内管洗的，整根管的重量恐怕还没有新管的三分之一重，上面密密麻麻的裂纹，竟然还能用。
别以为不洗就很牛，生产成本高，就会被市场饿死。
enjoylove at
我们也清洗回收利用过一次。
清洗后，表面很多的裂纹状。用得时候挺恐怖的，害怕炉管抽真空破掉。
还好，用了现在还没坏。
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