ZAO薄膜的研究现状及发展趋势--《真空与低温》2001年03期
ZAO薄膜的研究现状及发展趋势
【摘要】：针对目前ITO膜In、Sn等材料自然储量少、制备工艺复杂、有毒、稳定性差的缺点 ,提出了代替ITO膜的ZAO薄膜。从该膜的基本性能入手介绍了它的优点 ,国内外研究及发展现状
【作者单位】：
【关键词】：
【分类号】：O484.4【正文快照】：
1　引　言　　在人类社会的科学实验活动中 ,功能材料总是起着重要的作用 ,尤其是第二次世界大战以后 ,材料科学的发展达到了一个高潮 ,伴随着半导体、计算机、太阳能等产业的发展 ,相关的一种功能材料———透明导电氧化物薄膜随之产生、发展起来。这种属于半导体光电子材料
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