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来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2016-06-07 05:02 标签： 伤心1999
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pld制备zn薄膜及非晶纳米棒的结构与性质研究
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PLD制备Zn0薄膜及非晶纳米棒的结构与性质研究 摘要 氧化锌 Zn0 是一种宽禁带直接带隙 室温下3．3eV II-VI族化合物半导体，
激子结合能较大 60meV ，为六方纤锌矿结构。Zn0薄膜具有良好的透明导电
性、压电性、光电性、气敏性和压敏性，且易于与多种半导体材料实现集成化。
由于这些优异的性质，使其具有广泛的应用和诸多潜在用途，如声表面波器件、
平面光波导、透明电极、紫外光探测器、压电器件、压敏器件、紫外发光器件
和气敏传感器等。近年来，对其研究和开发在国内外科学界及工业部门引起了
极大的关注和兴趣。
用三层Cauchy散射模型拟合椭偏参数，计算了不同温度下制备的Zn0薄膜在
学特性有很大的影响。结合X射线衍射 XRD 的结构表征及原子力显微镜 AFM 的形貌表征，发现折射率的变化主要归因于薄膜堆积密度的改变。研究表明，
600℃是最佳的沉积温度，此温度下制备的ZnO薄膜具有较好的光学和薄膜质
量。 此外，本文还研究了脉冲激光沉积制备的ZnO／ZnS复合薄膜，发现薄膜在
室温大气中放置一段时间后表面自发生成大量一维纳米棒。高分辨透射电镜
电子显微镜 SEM 的表征对这种自发纳米结构生长现象做了初步的分析，提
出了可能的生长机制。我们还究了非晶ZnO纳米棒的光致发光特性，发现在
410nm处有一新的较强紫光发射峰。针对非晶态ZnO纳米棒的研究，一方面可 以加深我们对非晶半导体一维纳米结构合成机理的理解，另一方面可以发掘其
与晶态材料不一样的性质，带来新的应用机会，因此具有重要的理论和应用价
氧化锌；脉冲激光沉积；X射线衍射；原子力显微镜：扫描电子显微 镜；椭圆偏振光谱仪；非晶氧化锌。 Stru
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