摘要:本发明提供了一种双蕗射频电源的调整装置及方法所述调整装置包括:幅值检测模块,所述双路射频电源的电感分别连接耦合电容将电压差值幅值转换为電流信号,再将电流信号转换为电压差值信号从而获知电压差值幅值,之后两路电压差值幅值送差分放大器幅值差值传送到调整模块;相位检测模块,所述双路射频电源的电感侧部分别设置天线天线获得的相位信号分别传送到鉴相器,相位差传送到所述调整模块;调整模块所述调整模块用于根据接收到的所述幅值差值和相位差值调整所述双路射频电源。本发明具有精度高、响应快等优点
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