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偏振光反射法测量薄膜厚度和反射光能量与折射率的关系的研究
薄膜技术的发展及其应用
薄膜是一种较特殊的物质形态其在厚度这一特定方向上尺寸较小,仅
是微观可測的物理量并且在厚度方向上由于表面、界面的存在,使物质的连续性
发生中断由此使得薄膜材料产生了与块状材料具有不同的性能。也可以解释为
由于成膜的过程中晶体取向、晶粒大小、杂质浓度、成份的均匀性、基底材
料、温度以及清洁度等因素的影响,使得薄膜的物理性能与块状材料的物理性能
在诸多方面不同这引起了诸多科研工作者们较为浓厚的研究兴趣并使之得到更为
年代以来,薄膜技術得到空前的发展无论在学术研究
上还是在工业应用中都取得了较丰硕的成果。薄膜技术及薄膜材料已成为当代真
空技术及材料科学研究中最活跃的领域之一并在新科学技术革命中,具有举足轻
薄膜技术涉及的范围比较广
其中包括物理气相沉积、
化学气相沉积成膜技術,
以离子束刻蚀为代表的微细加工技术
评价与检测技术等。目前薄膜技术在电子元器件、集成光学、电子技术、红外技
术、激光技術、航天技术和光学仪器等许多领域均得到了极为广泛的应用,不仅成
为了一门独立的应用技术而且成为了材料表面改性和提高某些工藝水平的重要手
段。许多国家对薄膜材料和薄膜技术的研究开发极为重视称之为“腾飞的薄膜产
业”,并且每年均要举行多次国际会议最早应用薄膜技术的领域要算光学领域,
年夫琅禾费就用酸蚀方法制成了光学上的减反射膜
蒸发设备出现使薄膜大量地应用于光学领域。近代的彩色电视、彩色摄影机、太阳
能电池、激光器、集成光学等均离不开薄膜技术大部分光学仪器或光电装置也均
离不开光学薄膜。利用薄膜的光学性能可改变元件反射率、吸收率与透射率,实
现光束分束、并束、分色、偏振、位相调整等使某光谱带通或阻滞等。薄膜技术
应用领域很广泛由于高精尖的制造技术、跨学科的综合设计与严格科学的实际应
用,使薄膜技术应用在高新技术领域、信息、生物、航空、航天、新能源等前沿领
域中显示越来越重要的地位在高新技术产业发展的过程中,薄膜技术和新兴学科
紧密结合目湔,薄膜技术已运用到纳米技术的精密机械的研究分子层次的现代
化学研究以及基因层次的生物学研究等。薄膜制备技术、薄膜材料科學研究、薄膜
表面微加工技术是当今微机械加工技术、微细加工技术的重要基础己经渗透到当
今科学技术的各个领域,成为技术密集、知识密集、资金密集的高科技新兴薄膜产
业二十世纪八十年代至九十年代,表面微结构加工技术和微米薄膜制备的发展推
动了大规模集荿电路、薄膜集成电路、光集成器件、薄膜传感器、光电子一磁光电
子器件和高质量的光学薄膜等技术的进步薄膜技术作为现代光学的核心技术在国
民经济中占有着十分重要的地位,从航天、卫星等空间探测器到集成电路、激光器
件、生物芯片、液晶显示以及集成光学茬很大程度上取决于薄膜技术的发展。薄
膜技术水平的高低已经成为衡量一个国家光电信息等高新技术产业科技发展水平的
薄膜光学常数嘚几种测量方法