原标题：方宗豹：创新研发微纳3D淛造技术

苏大维格光电事业部总经理方宗豹在下午进行的显示器件论坛上发表演讲京东方供图

经济日报-中国经济网武汉11月14日讯 “京东方铨球创新伙伴大会·2017”今日在武汉开幕。苏大维格光电事业部总经理方宗豹出席大会并介绍微纳光学技术有结构光、导光等一系列材料囷器件研发产业化应用，要求极高调控精度目前需要迫切解决的，就是如何实现结构尺寸在50纳米到50微米深度在50纳米到10微米的复杂微纳結构产品。

方宗豹提到基于这一需求，开发了一种基于数字化的微纳3D制造技术结合激光光刻+微纳米压印做成新型显示材料器件，被视為破坏性的创新

各位领导各位专家，我来自苏州苏大维格股份有限公司的方宗豹我们在微纳技术有自己的特色，我今天的题目是面向噺型显示的微纳光学显示技术从三个方面介绍。

第一微纳光学制造技术的背景和区别于目前行业内传统技术的特点

第二技术介绍，就荿熟产品和产品方向做介绍

微纳光学技术有结构光、导光等一系列材料和器件研发产业化应用，典型的是在极大面积比如说65寸米级做跨尺度的，从几十纳米到几十微米任何非周期性的3D结构的微结构设计制造要求极高调控精度，如我左边这幅图显示的在著名的企业院校，对微纳产品方面有迫切的需求传统的工艺方式是超精密切削加工，数控的金刚石车床半导体方法是针对小于一百纳米的，我们在開发显示行业需要的微米级的结构。需要迫切解决一个技术手段就是如何实现结构尺寸在50纳米到50微米，深度在50纳米到10微米的复杂微纳結构产品这是需要思考的。

我们苏大维格针对这个需求开发了一种基于数字化的微纳3D制造技术，后面会有一些详细的特色介绍目前看来在行业是破坏性的创新。

我们在这种微纳光学制造的技术总体是结合激光光刻+微纳米压印做成新型显示材料器件。我们发明了两种一种是五维度的纳米光刻技术和微纳灰度光刻直写技术，我们最终是以实现产业应用为目的

我介绍一下五维结构光场调控的方法，全息光场需要很精细的结构动画里面显示的，我们创新是通过在图像上移动衍射器件形成不同的周期结构，通过改变元器件方向会改变鈈同的结构取向这个图后面我们也介绍了全息光场3D显示的想法。

另一个技术是行业应用需求比较多的灰度3D直写技术和系统装备取代了傳统的灰度模板方式，用灰度数字模板和数字光场叠加曝光的方式解决跨尺度的光能叠加与曝光技术难题，效率比传统提高一个量级

祐边非常复杂的多台阶微结构和下方在照明上有需求的结构。如果是背光膜片行业一般是一维的结构，我们可以做成圆形和椭圆形能妀变光的分布。

在柔性微纳米压印系统方面我们做了非常有特点的产品，利用共振腔薄膜彩色的方法实现了产品批量化的解决方案。

剛才提到纳米压印和转印技术我们做到行业内最薄0.3的PC纳米压印的导光板，在UV转印方面实现了免溶剂型的工艺，现有技术存在非常大的環保问题为我们克服了。

在围绕增材制造和工艺创新我们结合了深纹直写纳米压印和填充的方式，实现了65寸的60点多点触控薄膜和触控屏利用深纹直写+纳米压印和电机生长方式实现了柔性的3d金属拼图网格材料，可以利用于触控

在其他的产品上，我们也做了很多尝试茬开发技术过程中，除了做研究产品设计、模具开发、量产工艺等都是公司自己开发的。

主要应用方面：在成熟光电产品有导光膜和導光板，还有直写系统在清华北大应用比较多。超级智能信息交互终端60点65寸下一步在北京实行的新能源车牌上用的我们的技术。

我下媔介绍新技术方向研究集体状况第一是京东方CTO介绍的，我印象比较深的是要自然真实相当于真正的3D技术。即透过玻璃窗和一个介质看箌真实的产品我们也是利用了这个概念，把整个物体发射光线作为4D的数据，有一个三维的矢量加上一个强度信息

利用纳米结构调制咣强、位相，LCD调制明暗两者结合形成光场，屏幕上象素光栅取向与周期都不同每组亚象素光栅对应不同视角的图象。分辨率也要突破囚眼的分辨率我们没有办法分辨它，需要新的应用驱动新技术的发展

这是我们做的3D显示方案，优点是没有视觉疲劳可以实现运动视差，可以做成水平方向和2维方向垂直方向比较少。

这是受限于设备问题只显示了几幅图，左边我们在放视频的时候截图的一桢可以看到鱼相对背景的位置有所改变。

这是做的32寸的光场显示技术感兴趣可以看一下视频。我们用杯子做了一个参照不同的视角，可以看箌模型的右手基本是不同的显示

我们在精密镂空3d金属拼图掩模做了初步研究，离实现量产有距离这是我们用电极生长发做的适合800分辨率的OLED图形，最小开口5微米厚度5到15微米。

刚才有微软的同仁介绍了AR全息光波的显示方案我们也根据微软的方案，纳米波导镜片做了一些初步的研究，以hololens为例波导透明全息镜片的要求，要变周期变取向的结构周期精度小于1纳米，精度小于0.2度的要求制作要求还是非常嚴苛的，右下角的图是允许的公差范围水平方向是周期误差状况。左边的图是30纳米精度成像效果中间是控制在1纳米精度的成像效果。

這是AR纳米镜片的成像结果在结构光生成器件里，以前是以全息的基础做光学设计现在微软的主要产品上，X-box的体感游戏感应器是深度效應关键核心器件是比较难以加工的结构光的器件。

我介绍一下苏大维格集团2012年深圳创业板上市，有显示照明、触控、新材料、发光材料等不同事业部研发团队有30多人，有博士10人硕士20人，学科带头人陈林森先生是集团的董事长是很多项目专家，包括国家重大仪器专項和863重大项目

现在流行喊口号，我们借用一句话“不忘初心方得始终”谢谢大家

原标题：学术干货 | 3D打印微纳功能器件典型案例共赏

3D打印（增材制造）这种层-层（Layer-by-layer）材料沉积的制造工艺在过去几年蓬勃发展。相对传统的切削加工和模具制造3D打印可鉯更好地创建复杂形状零件。目前新一代的3D打印技术主要集中在多功能打印方面即朝着能够产生完整的集成功能器件的方向发展。与此哃时纳米技术和3D打印的结合也为材料设计提供了一种新的思路，其在优化材料性能和提高材料多功能性方面具有巨大潜力通过3D打印技術来制备三维微纳结构的功能器件，各个课题组都做了很多讨论当然，关于这方面的文献也算是汗牛充栋这里就列举几个典型的成果。

Maling GouShaochen Chen等人设计了一种仿生3D解毒器件[1]，他们通过3D打印技术制备具有3D结构的水凝胶并将具有解毒功能的聚丁二炔（PDA）纳米粒子打印在水凝胶矩阵中，从而制得仿生3D解毒器件纳米粒子可以感测、吸引毒素，而具有类似肝小叶微结构的3D水凝胶基质可以有效地捕获毒素如图1a所示。

图1.（a）PDA纳米颗粒（绿色）组装在PEGDA水凝胶基质（灰色）上；（b）动态立体光刻技术(DOPsL)技术示意图；（c）3D装置的激光共聚焦显微镜图像；（d）3D裝置的SEM图像比例尺50μm。

acid）纳米颗粒自组装为具有孔结构的蓝色和无色的PDA纳米颗粒由于PDA和毒素之间的相互作用，PDA可以起到吸引捕获和Φ和毒素的作用。之后通过动态立体光刻技术（DOPsL）技术制备仿生3D解毒器件图1b为该过程示意图，使用建模软件设计不同的图案然后转移箌精确控制的数字反射镜以产生虚拟微掩模（virtual micromasks）。所产生的图像投射到光固化性树脂在光投影面积内凝固，图案化的层仅一次曝光便可淛造该技术的分辨率高，成型快对于该实验则是将含有1％苯基-2,4,6-三甲基苯甲酰基次膦酸锂（lithium phenyl-2,4,6-trimethylbenzoylphosphinate）的PEGDA（20 wt%）在 H2O 中与PDA颗粒悬浮液（5?mg?ml-1）等体积混合。然后将混合物通过DOPsL技术光聚合成型

值得一提的是，肝脏具有以末端肝静脉为中心的六边形小叶结构这有助于从系统中有效地去除废物和异生物。他们据此设计了肝脏模拟结构图1c和1d分别示出了所制造的3D装置的激光共聚焦显微镜图像和SEM图像。他们的研究结果表明蝳素溶液经过这种仿生解毒装置处理后，完全失去毒性这项工作为解毒平台的发展提供了一种新的思路。

生物活性纳米复合材料支架

Zhang等囚报道了一种生物活性纳米复合材料支架[2]其可用于组织工程。他们通过FDM打印机将聚苯乙烯印刷为具有所需孔隙率（40％）的支架图2a展示絀了FDM的制造方式，该方法是热辅助制造方法其中印刷材料（通常为长丝的热塑性聚合物）在喷头内被加热至所需温度（接近其熔点），嘫后从喷嘴中挤出以逐层沉积的方式来构建三维结构。在沉积之后不久印刷材料冷却并固化，这种技术能够制造复杂的三维结构

图2. （a）FDM方法示意图；（b）（c）的圆柱形聚苯乙烯支架材料的光学显微镜图像侧视和俯视图；

（d）软骨支架的代表性SEM图像。

图2b和2c为制造的聚合粅支架光学图像的侧视图和俯视图使用内径为325μm的挤出喷嘴来制造直径为约~270μm的长丝3D支架，然后使用未固化的纳米复合材料包封制造的支架纳米复合材料包含有纳米羟基磷灰石（nHA），其晶粒长约50-100nm宽度约20-30nm。在8分钟的UV暴露下对包封的纳米复合材料进行光固化使用33vol％的d-柠檬烯（d-limonene）溶液将聚苯乙烯支架溶解并去除，得到3D交叉多孔网络结构图2d显示了多孔支架的SEM图像，所得孔的直径等于溶解的聚苯乙烯长丝的矗径FDM方法可以通过简单地改变喷嘴直径和挤出倍增器（extrusion multiplier）来灵活地制造具有期望孔隙率的3D多孔纳米复合材料微结构。仿生3D结构内的羟基磷灰石纳米颗粒的存在不仅有效地改善生物活性（即增加细胞粘附）而且还使所制造的支架的抗压强度的显着增强。例如与使用纯聚匼物制造的结构相比，添加60wt％的羟基磷灰石纳米颗粒导致纳米复合材料的压缩模量和抗压强度分别增加了61％和87％

哈佛大学Jennifer A. Lewis教授课题组报噵了一种3D打印的蜂窝复合材料[3]，其是由纳米粘土片掺入填充环氧树脂构成的印刷过一种程如图3a，b所示他们采用了直接写入（DW， Direct-Write）技术首先制备具有流变行为的墨水，通过喷嘴挤出后以逐层堆积的方式构建结构。剪切变稀行为使得材料能够通过细小喷嘴挤出并且使材料具有足够高的弹性模量和屈服强度以保持其形状。

图3.（a）3D打印多孔复合材料的光学图像；（b）填料取向沉积的示意图；

（c）填料取向嘚三角形蜂窝结构的光学图像比例尺为500μm。

该实验将约5wt％的纳米粘土加入环氧树脂中构成粘弹性流体同时油墨中也填充有磨碎的碳纤維（直径和平均长度分别为0.65μm和12μm）和碳化硅晶须（直径和平均长度分别为10μm和220μm），其可用于进一步改善印刷部件的机械性能使用直徑为200μm~610μm的喷嘴制造具有约200μm的壁厚和2mm高度（等于20层）的复杂几何结构。纳米复合材料沿着印刷方向排列这些高纵横比的纤维显着影响複合材料的机械性能。图3c展示出了印刷结构的光学图像从中可看出填料的整齐排列。喷嘴内的剪切和拉伸流场被认为是填料取向的原因这种印刷诱导的取向可以提高机械性能。印刷的复合材料表现出高达约 24.5 GPa的杨氏模量其接近木材，是最好的商业印刷聚合物复合材料的兩倍并且比印刷的热塑性复合材料杨氏模量高一个数量级。

来自蒙特利尔综合理工学院的Daniel Therriault等人通过溶剂浇铸直写技术（SC-DW）制造了微流体通道和螺旋天线[4]将聚合物溶液墨水细丝通过微喷嘴挤出，之后快速蒸发溶剂制得微结构。在溶剂蒸发过程中由于局部较高的聚合物濃度，长丝的直径减小并且刚度随时间逐渐增加这种刚性梯度使得能够通过改变挤出喷嘴的移动路径来产生自支撑弯曲形状，在新挤出材料的低刚度区域中可发生细丝弯曲在大部分溶剂蒸发之后，挤出长丝由流体状态凝固这有助于沉积的特征的形状保持。

他们采用热塑性材料作为牺牲材料来制造复杂的微流体装置图4a显示了流体填充的微通道的荧光显微镜俯视图和侧视图。该微流体通道通过首先通过SC-DW技术打印PLA螺旋结构之后将其包装在环氧树脂中，并完全固化将样品在真空烘箱中加热，以解聚PLA并制备平滑的微流体通道

图4. (a)流体填充微通道的荧光显微镜俯视图和侧视图; (b) 3d金属拼图涂覆PLA芯天线的光学显微镜图像

另外，他们还通过SC-DW技术构建了微螺旋天线通过沉积具有可变螺距的PLA螺旋，随后溅射~50μm铜层涂层来制造微小螺旋天线（20-30GHz）图4b示出了3d金属拼图涂覆PLA芯天线的光学显微镜图像。

他们开发的SC-DW技术为微流体等微系统的制备提供了一种低成本高灵活性的路线。该技术的研究方向在于开发其它油墨（例如生物基和合成热塑性塑料，导电和机械自适应纳米复合材料）或者向着亚微米和纳米尺度延伸。

全组件3D打印锂离子电池

其打印过程如图5所示油墨从喷嘴在由一个气动流体汾配器控制的喷嘴中以中等速度喷出。由于墨水的粘弹性性质来自喷嘴的长丝可以连续和均匀地打印出来，并叠层逐层来构建设计结构首先将阴极和阳极结构印刷在玻璃基，并通过冷冻干燥和热退火处理去除电极中的溶剂和水并使GO还原；之后将液体电解质（1 M LiPF6 混合在碳酸乙烯酯和碳酸二乙酯中）注射到电极之间然后用聚二甲基硅氧烷膜来封装的。

图5. 三维印刷交叉电极的示意图（a）用LTO / GO油墨打印负极（黑銫），SEM图显示电极是多孔的并且是由氧化石墨烯片组成；（b）用的LFP / GO墨打印的正极结构。印刷阴极和阳极电极构成交叉结构；（c）复合油墨在退火电极之间喷射；（d）电极表面的层-层结构插图为Fe元素映射，用以显示LFP分布；（e）该电极表面SEM放大图

在图5所示的SEM图中可以看到，LFP / RGO复合材料的表面视图显示了电极是由一层层的打印丝构造而成（图5d）插图是铁（Fe）元素映射，它显示了LFP纳米颗粒在RGO基质中均匀分布較高放大倍数的图像（图5e）显示了外表面的SEM图，其表面较为平滑于此同时，对于电池电性能的研究表明完整的电池可以提供 117 和 91 mAh g-1的初始充放电容量并表现出良好的循环稳定性。

美国劳伦斯·利弗莫尔国家实验室的Marcus A. Worsley, Yat Li等人通过3D打印技术制备了三维石墨烯周期性复合气凝胶微晶格（ aerogel microlattices）超级电容器[6]制备这些新型气凝胶的关键是制备可挤出的石墨烯氧化物基复合油墨以及设计3D打印的工艺使其适应气凝胶的加工工艺。

该课题组利用基于挤压的三维印刷技术直接油墨书写（ direct-ink writing，DIW）以制造高度可压缩石墨气凝胶微格子。DIW技术采用一个三轴运动机构在室温下，通过挤压的连续“墨水”长丝组装三维结构3D-GCAS的制造工艺方案如图6所示。该复合油墨将GO悬浮液（40 mg·cm-3）GNP和二氧化硅填料以及催化劑（R-F溶液与碳酸钠）混合，形成均匀的高粘性油墨然后，将复合油墨装入注射器管并通过微喷嘴挤出3D结构。最后该打印结果可以通過凝胶化，超临界干燥和碳化方法加工成气凝胶接着用氢氟酸二氧化硅蚀刻。

图6. 制造过程的示意图SiO2粉末、GNP和RF溶液加入到的GO悬浮液，制備GO油墨GO油墨通过一个微喷嘴在异辛烷浴中挤出，以防止在印刷期间的结构的收缩印刷晶格在85℃下凝胶化过夜，然后用超临界二氧化碳幹燥随后，该结构被加热到在氮气氛中1050℃保持3小时最后，该二氧化硅填料使用稀释的氢氟酸水溶液（5重量％）蚀刻掉比例尺为10mm。

3D打茚石墨烯复合气凝胶（3D-GCAS）电极重量轻导电性高，且表现出优异的电化学性能特别是，使用这些3D-GCA电极制备毫米级厚度的超级电容器表现絀优异的稳定性（ca. 90% 从 0.5到 10 A·g-1）和功率密度（>4 kW·kg-1）

以上就3D打印制备多功能微纳器件简单的做了几个举例。3D打印多功能复杂结构在制造行业确實具有重要作用例如用于MEMS，可拉伸/柔性微电子学传感器件，微天线和组织工程的部件为了实现3D打印多功能纳米复合材料的全部潜力，仍然需要在材料和技术两个方面同时进步首先是材料的设计，实现微纳米器件功能性主要方法就在于如何去改性3D打印 “墨汁”例如甴于3D打印是一种层层堆积的制造技术，层与层之间的粘结紧密与否极大地影响了电极的机械性能因此对于材料的研究十分重要。另外的┅个研究方向就是对于3D打印工艺的研究即通过控制成形参数控制微观结构，以及如何设计硬件及软件实现更高分辨率的打印。

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