微纳尿道金属探针3D打印技术应用:AFM探针

摘要:随着微纳技术中材料和器件关键尺寸的减小以及几何结构复杂性的增加,给微纳尺度的精确测量带来了新的挑战微纳几何量计量技术主要是研究微纳尺度下测量量徝的准确一致,并实现量值溯源到国际长度基本单位的科学。为保证微纳技术的领先优势,国外先进国家一直高度重视微纳几何量计量技术的研究目前,我国在微纳计量领域已成功研制了多种微纳几何量计量标准装置,并初步建立了我国自己的微纳计量溯源体系。对我国现有的微納几何量计量技术与计量标准装置进行了回顾和介绍,并对我国微纳计量的未来发展做出了展望
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基于AFM悬臂探针的微纳米力学检测系统及其在变形解耦测量中的应用苏东川,李喜德在微纳器件中结构的尺度极度缩小,因此其力学性能成为人们关注的热点问题之一探针由于具有结构简单、尺度小、灵敏度高等优点,

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