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【论文】pLEDMOS导通电阻及阈值电压的热载流子退化_百度文库
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pLEDMOS导通电阻及阈值电压的热载流子退化研​究​了​不​同​漂​移​区​长​度​及​不​同​栅​场​极​板​长​度​的​厚​栅​氧​化​层​p​L​E​D​M​O​S​器​件​由​热​载​流​子​效​应​导​致​的​导​通​电​阻​及​阈​值​电​压​的​退​化​现​象​及​机​理​.​实​验​结​果​表​明​,​增​加​漂​移​区​长​度​能​改​善​器​件​的​导​通​电​阻​的​退​化​,​但​加​速​了​阈​值​电​压​的​退​化​;​增​加​栅​场​极​板​长​度​可​以​同​时​改​善​导​通​电​阻​和​阈​值​电​压​的​退​化​.​借​助​T​C​A​D​仿​真​软​件​,​模​拟​分​析​了​不​同​漂​移​区​长​度​及​不​同​栅​场​极​板​长​度​的​p​L​E​D​M​O​S​器​件​的​离​子​产​生​率​和​纵​向​电​场​,​模​拟​结​果​解
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