急需一个关于“宽禁带半导体氧化物制造工艺———氧化“的PPT，求各位大神帮帮忙。

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2014-11-12 10:48 标签： 互补金属氧化物半导体
半导体工艺原理与技术绪论_图文_百度文库
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半导体工艺原理与技术绪论
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半导体制造技术-第四章
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&&硅​和​硅​片​制​备
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半导体制造工艺_01 晶体的生长
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&&半​导​体​器​件​基​本​结​构​ ​、​半​导​体​器​件​工​艺​的​发​展​历​史​、​半​导​体​材​料​基​本​性​质​及​半​导​体​制​造​中​使​用​的​化​学​品​,​以​典​型​的​C​M​O​S​管​的​制​造​实​例​为​基​础​介​绍​了​集​成​电​路​的​制​造​过​程​及​制​造​过​程​中​对​环​境​的​要​求​及​污​染​的​控​制​。​重​点​介​绍​了​包​括​清​洗​、​氧​化​、​化​学​气​相​淀​积​、​金​属​化​、​光​刻​、​刻​蚀​、​掺​杂​、​平​坦​化​几​大​集​成​电​路​制​造​工​艺​的​工​艺​原​理​工​艺​过​程​,​工​艺​设​备​、​工​艺​参​数​、​质​量​控​制​及​工​艺​模​拟​的​相​关​内​容​。
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