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压电式传感器实验报告
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压电式传感器实验报告
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2016第六章传感器原理与应用.ppt 158页
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2016第六章传感器原理与应用
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电子测量——北京交通大学 电气工程学院 * 作业提示： 传感器可考虑选择AD590或DS18B20；不宜选择电压输出型的（例如 LM35），因为电压型不便于实现多点采集 上网搜索有关资料，参考其典型应用部分的说明 一个完整的设计，应该是可以让别人拿着文档就可以直接作实验、或实施的方案 六、热电式传感器 温度传感器的常见种类： 热电偶、热电阻、热敏电阻、半导体温度传感器 液体温度计、双金属温度计 红外温度传感器
光电式传感器 重点关注： 原理、特性（测量范围、精度、线性）、应用方法 电子测量——北京交通大学 电气工程学院 * 电子测量——北京交通大学 电气工程学院 * 液体温度计、双金属温度计 热电偶 热电阻 热敏电阻 红外温度传感器 集成温度传感器
利用晶体管PN结的电流、电压随温度变化。集成化、体积小、响应快、价廉，测量150℃以下温度。 二、温度传感器的分类 红外辐射 金属温差电动势 电阻率随温度变化 半导体材料的特性随温度变化 热胀冷缩 电子测量——北京交通大学 电气工程学院 * （一）
热电偶 1. 原理—热电效应 两种不同材料的导体构成闭合回路，当两个接触点所处温度不同时，两导体间会产生电势和回路电流，这一现象称为热电效应，或塞贝克效应 电子浓度不同的两种金属接触，电子扩散，在接触面产生稳定的电场和电势——珀尔帖效应，接触电势 单一金属导体，高温端电子向低温端运动，导致两端产生电势差——汤姆孙效应，温差电势
热电效应（续） 接触电势：
温差电势：
总热电势：
nA、 nB——电子浓度； σA、 σB——汤姆逊系数；
T、 T0——（绝对）温度； k=1.38×10-23J/K ；
e=1.60×10-19C
电子测量——北京交通大学 电气工程学院 * 热电效应（续） 热电势的大小只与两种导体的材料差别、两接触点的温度差有关，与导体的尺寸、形状、温度的梯度分布情况无关 如果两种材料的参数已知，则热电势EAB(T,T0)将是 T－T0的单调线性函数 欲求T，需知T0 ——冷端补偿问题 材料配伍已标准化——标准热电偶
电子测量——北京交通大学 电气工程学院 * 电子测量——北京交通大学 电气工程学院 * 2. 常用热电偶及测温范围 贵金属热电偶
铂铑30—铂铑6 （600～1800）℃ 铂铑10——铂
（0～1600）℃ 普通金属热电偶 镍铬——镍硅（-200～1200）℃ 镍铬——镍铜（-40～750）℃ 铁——康铜
（0～400）℃ 热电偶可以测量上千度高温且精度较高，机械性能好，是其它温度传感器无法替代的。 对于500℃以下的中、低温精确测量，用热电偶不一定恰当 电子测量——北京交通大学 电气工程学院 * 3. 结构形式 普通热电偶 薄膜热电偶 铠装热电偶 4. 测量方案 电位差计
数字电压表（DVM）
计算机自动测量系统 电子测量——北京交通大学 电气工程学院 * （二）热电阻 1. 原理
材料的电阻率随温度变化： ρ=a+bT+cT2
大多数金属有0.3—0.6%/℃的正温度系数,因而可构造热电阻温度传感器。 2.
特点：精度高；测量范围大（尤其低温测量） 3. 应用领域：-200～500℃
可扩展至1~3K及℃范围 电子测量——北京交通大学 电气工程学院 * 4、常用材料及特点 铂，铜，铁，镍
0.39%/0C -200～6500C 性能稳定，重复性好，昂贵。
0.43%/0C -50～1500C 线性好，但易氧化。
0.6%/0C -60～1800C 稳定性和线性较差，适于精度要求不高的场合。 电子测量——北京交通大学 电气工程学院 * 5. 结构
直径0.02—0.07mm的高纯度金属丝（如99.99%），绕在云母、陶瓷或玻璃骨架上，然后做出引线，外包陶瓷或不锈钢套管。
——不耐冲击 6. 测量方案 电桥 电子测量——北京交通大学 电气工程学院 * （三）热敏电阻 热敏电阻一般是指采用多种金属氧化物的粉末按一定比例混合烧结成的半导体材料构成的一类热电阻，其阻值随温度变化显著 根据其特性，分为三种类型： 正温度系数热敏电阻——PTC
Positive Temperature Coefficient resistor 负温度系数热敏电阻——NTC Negative Temperature Coefficient resistor 临界温度热敏电阻——CTR Critical Temperature Resistor 电子测量——北京交通大学 电气工程学院 * 1
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传感器原理及工程应用(第三版)((郁有文))(西安电子科技大学出版)详细答案 .doc 35页
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传感器原理及工程应用(第三版)((郁有文))(西安电子科技大学出版)详细答案
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4-12 电涡流传感器常用的测量电路有哪几种？其测量原理如何？各有什么特点？
1、用于电涡流传感器的测量电路主要有：调频式、调幅式电路两种。
2、测量原理
（1）调频式测量原理
传感器线圈接入LC振荡回路，当传感器与被测导体距离x改变时，在涡流影响下，传感器的电感变化，将导致振荡频率的变化，该变化的频率是距离x的函数，即f L x , 该频率可由数字频率计直接测量，或者通过f-V变换，用数字电压表测量对应的电压。
图4-6调频式测量原理图
（2）调幅式测量原理
由传感器线圈L、电容器C和石英晶体组成的石英晶体振荡电路。石英晶体振荡器起恒流源的作用，给谐振回路提供一个频率（f0）稳定的激励电流io。
当金属导体远离或去掉时，LC并联谐振回路谐振频率即为石英振荡频率fo，回路呈现的阻抗最大， 谐振回路上的输出电压也最大；当金属导体靠近传感器线圈时，线圈的等效电感L发生变化，导致回路失谐，从而使输出电压降低，L的数值随距离x的变化而变化。因此，输出电压也随x而变化。输出电压经放大、 检波后， 由指示仪表直接显示出x的大小。 ?
图4-7调幅式测量原理图
除此之外， 交流电桥也是常用的测量电路。
调频式测量电路除结构简单、成本较低外，还具有灵敏度高、线性范围宽等优点。
调幅式测量电路线路较复杂，装调较困难，线性范围也不够宽。
利用电涡流式传感器测板材厚度，已知激励电源频率f
1MHz，被测材料相对磁导率μr 1，电阻率ρ 2.9×10-6 ΩCm，被测板材厚度为 （1+0.2）mm。试求：
（1）计算采用高频反射法测量时，涡流透射深度h为多大？
（2） 能否采用低频透射法测板材厚度？若可以需采取什么措施？画出检测示意图。
1、为了克服带材不够平整或运行过程中上下波动的影响，在带材的上、下两侧对称地设置了两个特性完全相同的涡流传感器S1和S2。S1和S2与被测带材表面之间的距离分别为x1和x2。若带材厚度不变，则被测带材上、下表面之间的距离总有x1+x2 常数的关系存在。两传感器的输出电压之和为2Uo，数值不变。
如果被测带材厚度改变量为Δδ，则两传感器与带材之间的距离也改变一个Δδ，两传感器输出电压此时为2Uo±ΔU。ΔU
计算高频反射法测板材厚度时，涡流穿透深度：
可见穿透深度很浅。
图4-8高频反射法测量原理图
2、若采用低频透射法测板材厚度，必须使涡流穿透深度大于板材厚度。由于ρ、μ0、μr都是常数，所以必须降低激励电源频率，使之满足：
由此解得穿透板材所需的最高频率为：
当满足激励电源频率小于5.1KHz时，发射探头的信号才能透过板材，被接收探头接收。发射探头在交变电压e1的激励下，产生交变磁场，透过被测板材后达到接收探头，使之产生感应电动势e2，它是板材厚度的函数，只要两个探头之间的距离x一定，测量e2的值即可测得板材厚度。
图4-9低频透射法测量原理图
5-6 差动电容式传感器接入变压器交流电桥，当变压器副边两绕组电压有效值均为U时，试推到电桥空载输出电压与的关系式。若采用变截距型电容传感器，初始截距均为，改变后，求空载输出电压与之间的关系式。
解：（1）设，，
由图可知，把上式代入可得：；
（2）设，，
（或者：，有）
6-3简述压电陶瓷的结构及其特性
压电陶瓷是人工制造的多晶体，具有电畴结构。电畴是分子自发形成的区域，有一定的极化方向。经过极化处理的压电陶瓷内部仍存在很强的剩余极化。沿着压电陶瓷极化方向加力时，其极化强度发生变化，引起垂直于极化方向的平面上电荷的变化，这种变化的大小与压电陶瓷的压电系数和作用力的大小成正比。
6-4 画出压电元件的两种等效电路。
1、电压源等效电路
2、电流源等效电路
6-5 电荷放大器所要解决的核心问题是什么？试推导其输入与输出的关系。
1、传感器的灵敏度与电缆电容无关，更换电缆或使用较长的电缆时，不用重新校正传感器的灵敏度。改进了电压放大器的缺点。
2、输入与输出的关系
电荷放大器常作为压电传感器的输入电路，由一个反馈电容Cf和高增益运算放大器构成。由运算放大器基本特性，可求出电荷放大器的输出电压：
104~108，因此,当满足 1+A Cf
Ca+Cc+Ci时，上式可表示为
6-7利用压电式传感器设计一个测量轴承支座受力情况的装置
6-8 用石英晶体加速度计测量机械的振动，已知加速度计的灵敏度为2.5pC/g（g 9.8m/s2）Sn
2.5×80 200mV/g
系统灵敏度Sn、输出电压幅值U0及被测加速度幅值a的关系为：
所以该机器的振动加速度幅值为：
7-4 什么是霍尔效应？霍尔电势与哪些因素有关？
1、通电的导体或半导体，在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势，这种现象称霍尔效应。该电势称霍
正在加载中，请稍后...导读：《传感器原理与应用》习题集与部分参考答案，教材：传感器技术（第3版）贾伯年主编，第6章压电式传感器，6-2压电材料的主要特性参数有哪些？试比较三类压电材料的应用特点，还在光电、微声和激光等器件方面都有重要应用，利于广泛应用，因此既可用其压电性研制传感器，研制成新型集成压电传感器测试系统，6-4为了提高压电式传感器的灵敏度，6-5欲设计图6-20所示三向压电加速度传感器，6-6原理上，压电式传感《传感器原理与应用》习题集与部分参考答案 教材：传感器技术（第3版）贾伯年主编，及其他参考书 第6章 压电式传感器 6-1 何谓压电效应？何谓纵向压电效应和横向压电效应？ 答：一些离子型晶体的电介质不仅在电场力作用下，而且在机械力作用下，都会产生极化现象。且其电位移D(在MKS单位制中即电荷密度σ)与外应力张量T成正比： D = dT 式中
d―压电常数矩阵。 当外力消失，电介质又恢复不带电原状；当外力变向，电荷极性随之而变。这种现象称为正压电效应，或简称压电效应。 若对上述电介质施加电场作用时，同样会引起电介质内部正负电荷中心的相对位移而导致电介质产生变形，且其应变S与外电场强度E成正比：
式中 dt――逆压电常数矩阵。这种现象称为逆压电效应，或称电致伸缩。 6-2 压电材料的主要特性参数有哪些？试比较三类压电材料的应用特点。 答：主要特性：压电常数、弹性常数、介电常数、机电耦合系数、电阻、居里点。 压电单晶：时间稳定性好，居里点高，在高温、强辐射条件下，仍具有良好的压电性，且机械性能，如机电耦合系数、介电常数、频率常数等均保持不变。此外，还在光电、微声和激光等器件方面都有重要应用。不足之处是质地脆、抗机械和热冲击性差。 压电陶瓷：压电常数大，灵敏度高，制造工艺成熟，成形工艺性好，成本低廉，利于广泛应用，还具有热释电性。 新型压电材料：既具有压电特性又具有半导体特性。因此既可用其压电性研制传感器，又可用其半导体特性制作电子器件；也可以两者合一，集元件与线路于一体，研制成新型集成压电传感器测试系统。 6-3 试述石英晶片切型（yxlt?50?/45?）的含意。 6-4 为了提高压电式传感器的灵敏度，设计中常采用双晶片或多晶片组合，试说明其组合的方式和适用场合。 答：（1）并联：C′＝2C，q′=2q,U′=U,因为输出电容大，输出电荷大，所以时间常数，适合于测量缓变信号，且以电荷作为输出的场合。 （2）串联:q′=q,U′=U,C′=C/2, 特点：输出电压大，本身电容小，适合于以电压作为输出信号，且测量电路输出阻抗很高的场合。 6-5 欲设计图6-20所示三向压电加速度传感器，用来测量x、y、z三正交方向的加速度，拟选用三组双晶片组合BaTiO3压电陶瓷作压电组件。试问：应选用何种切型的晶片？又如何合理组合？并用图示意。
6-6 原理上，压电式传感器不能用于静态测量，但实用中，压电式传感器可能用来测量准静态量，为什么？ 答：压电式测力传感器是利用压电元件直接实现力-电转换的传感器，在拉力、压力和力矩测量场合，通常较多采用双片或多片石英晶片作压电元件。由于它刚度大，动态特性好；测量范围广，可测范围大；线性及稳定性高；可测单、多向力。当采用大时间常数的电荷放大器时，就可测准静态力。 6-7 简述压电式传感器前置放大器的作用，两种形式各自的优缺点及其如何合理选择回路参数？ 6-8 已知ZK-2型阻抗变换器的输入阻抗为2000MΩ，测量回路的总电容为1000pF。试求：当与压电加速度计相配，用来测量1Hz的低频振动时产生的幅值误差。 6-9 试证明压电加速度传感器动态幅值误差表达式：高频段：?H?[A(?n)?1]%；低频段：?L?[A(?L)?1]%。若测量回路的总电容C=1000pF，总电阻R=500MΩ，传感器机械系统固有频率fn=30kHz，相对阻尼系数ξ=0.5，求幅值误差在2%以内的使用频率范围。 6-10 试选择合适的传感器：（1）现有激磁频率为2.5kHz的差动变压器式测振传感器和固有频率为50Hz的磁电式测振传感器各一只，欲测频率为400~500Hz的振动，应选哪一种？为什么？（2）有两只压电式加速度传感器，固有频率分别为30kHz和50kHz，阻尼比均为0.5，欲测频率为15kzHz的振动，应选哪一只？为什么？ 6-11 一只压电式压力传感器灵敏度为9pC/bar，将它接入增益调到0.005V/pC的电荷放大器，放大器的输出又接到灵敏度为20mm/V的紫外线记录纸式记录仪上。（1）试画出系统方框图；（2）计算系统总的灵敏度；（3）当压力变化35bar时，试计算记录纸上的偏移量。 *6-12 什么是正压电效应？什么是逆压电效应？压电效应有哪些种类？压电传感器的结构和应用特点是什么？能否用压电传感器测量静态压力？ 答：某些电介质在沿一定的方向受到外力的作用变形时，由于内部电极化现象同时在两个表面上产生符号相反的电荷，当外力去掉后，恢复到不带电的状态；而当作用力方向改变时，电荷的极性随着改变。晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。这种现象称为正压电效应。反之，如对晶体施加一定变电场，晶体本身将产生机械变形，外电场撤离，变形也随之消失，称为逆压电效应。 压电材料有：石英晶体、一系列单晶硅、多晶陶瓷、有机高分子聚合材料 结构和应用特点： 在压电式传感器中，为了提高灵敏度，往往采用多片压电芯片构成一个压电组件。其中最常用的是两片结构；根据两片压电芯片的连接关系，可分为串联和并联连接，常用的是并联连接，可以增大输出电荷，提高灵敏度。 使用时，两片压电芯片上必须有一定的预紧力，以保证压电组件在工作中始终受到压力作用，同时可消除两片压电芯片因接触不良而引起的非线性误差，保证输出信号与输入作用力间的线性关系,因此需要测量电路具有无限大的输入阻抗。但实际上这是不可能的，所以压电传感器不宜作静态测量，只能在其上加交变力，电荷才能不断得到补充，并给测量电路一定的电流。故压电传感器只能作动态测量。 6-13 石英晶体X、Y、Z轴的名称是什么？试根据石英晶体的结构分析该晶体各方向有无压电效应。 答：电轴：x轴穿过六棱柱的棱线，在垂直于此轴的面上压电效应最强； 机轴：y轴垂直六棱柱面。在电场作用下，沿该轴方向的机械变形最明显； 光轴：z轴晶体上、下晶锥项点连线重合，也叫中性轴，光线沿该轴通过时，无折射及压电效应。 石英晶体具有压电效应，是由其内部结构决定的。组成石英晶体的硅离子Si4+和氧离子O2-在Z平面投影。为讨论方便，将这些硅、氧离子等效为如图中正六边形排列，图中“＋”代表Si4+，“－”代表2O2-。 当作用力FX=0时，正、负离子（即Si4+和2O2-）正好分布在正六边形顶角上，形成三个互成120o夹角的偶极矩P1、P2、P3，如图所示。此时正负电荷中心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即 P1＋P2＋P3＝0
Y - P1 + P2 + P3 X - - + FX=0 当晶体受到沿X方向的压力（FX0；在Y、Z方向上的分量为 （P1+P2+P3）Y=0、（P1+P2+P3）Z=0， 则在X轴的正向出现正电荷，在Y、Z轴方向则不出现电荷。 当晶体受到沿X方向的拉力（FX＞0）作用时，电极矩的三个分量为 （P1+P2+P3）X<0；（P1+P2+P3）Y=0；（P1+P2+P3）Z=0， 则在X轴的正向出现负电荷，在Y、Z方向则不出现电荷。 当晶体受到沿X(电轴)方向的力FX作用时，它在X方向产生正压电效应，而Y、Z方向则不产生压电效应。晶体在Y轴方向力FY作用下的情况与FX相似（1分）。晶体在Z轴方向力FZ的作用下，因为晶体沿X方向和沿Y方向所产生的正应变完全相同，故沿Z(即光轴)方向的力FZ作用下，晶体不产生压电效应。 6-14 简述压电陶瓷特性，作为压电元件比较它与石英晶体有哪些特点？ 答：石英晶体整个晶体是中性的，受外力作用而变形时，没有体积变形压电效应，但它具有良好的厚度变形和长度变形压电效应。压电陶瓷是一种多晶铁电体。原始的压电陶瓷材料并不具有压电性，必须在一定温度下做极化处理，才能使其呈现出压电性。所谓极化，就是以强电场使“电畴”规则排列，而电畴在极化电场除去后基本保持不变，留下了很强的剩余极化。 当极化后的铁电体受到外力作用时，其剩余极化强度将随之发生变化，从而使一定表面分别产生正负电荷。在极化方向上压电效应最明显。铁电体的参数也会随时间发生变化―老化，铁电体老化将使压电效应减弱。 6-15 简述压电式传感器分别与电压放大器和电荷放大器相连时各自的特点。说明电压放大器与电荷放大器的优缺点，各自要解决什么问题？ 答：传感器与电压放大器连接的电路,其输出电压与压电元件的输出电压成正比,但容易受电缆电容的影响。传感器与电荷放大器连接的电路,其输出电压与压电元件的输出电荷成正比,电缆电容的影响小。 6-16 用石英晶体加速度计及电荷放大器测量机器振动，已知，加速度计灵敏度为5pc/g;电荷放大器灵敏度为50mv/p，最大加速度时输出幅值2v，试求机器振动加速度。 6-17 超声波传感器利用压电材料制成发射器和接收器，说明它们各利用哪种压电效应？ 6-18 电荷放大器所要解决的核心问题是什么？试推导其输入输出关系。 6-19 简述电压试加速传感器的工作原理？ 6-20 为什么压电传感器通常都用来测量动态或瞬态参量？ 答：如作用在压电组件上的力是静态力，则电荷会泄露，无法进行测量。所以压电传感器通常都用来测量动态或瞬态参量。 6-21 设计压电式传感器检测电路的基本考虑点是什么？为什么？ 答：基本考虑点是如何更好的改变传感器的频率特性，以使传感器能用于更广泛的领域。 6-22 画出(111)晶面和晶向。并计算(111)晶面内， 晶向的纵向压阻系数和横向压阻系数。 6-23 压电传感器的输出信号的特点是什么？它对放大器有什么要求？放大器有哪两种类型？ 答：特点：其输出阻抗大，要求前置放大器的输入阻抗大，而输出阻抗小。 要求：其信号微弱，要求高的放大倍数。 类型：电压放大器，电荷放电器（与电路电容无关） 6-24 压电传感器测量范围。 答：只能测量变力且交变频率越高，灵敏度越大。 6-25 常用压电材料有哪几种？ 答：应用于压电式传感器中的压电材料通常有三类：一类是压电晶体，它是单晶体，如石英晶体、酒石酸钾钠等；另一类是经过极化处理的压电陶瓷，它是人工合成的多晶体，如钛酸钡等；第三类是有机压电材料，是新型的压电材料，如聚偏二氯乙烯等。 6-26 什么叫正压电效应？什么叫逆压电效应？常用压材料有哪几种？ 答：某些电介质在沿一定的方向上受到外力的作用而变形时，内部会产生极化现象，同时在其表面上产生电荷，当外力去掉后，又重新回到不带电的状态，这种现象称为压电效应。这种机械能转化成电能的现象，称为正压电效应。反之，在电介质的极化方向上施加交变电场或电压，它会产生机械变形，当去掉外加电场时，电介质变形随之消失，这种现象称为逆压电效应。应用于压电式传感器中的压电材料通常有三类：一类是压电晶体，它是单晶体，如石英晶体、酒石酸钾钠等；另一类是经过极化处理的压电陶瓷，它是人工合成的多晶体，如钛酸钡等；第三类是有机压电材料，是新型的压电材料，如聚偏二氯乙烯等。
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