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无锡先导自动化设备股份有限公司
WUXI LEAD AUTO EQUIPMENT CO.,LTD
管式PECVD上/下料机(LDSD15)
管式PECVD上/下料机是一款将电池片从电池片承载盒中自动装载至PECVD石墨舟或从PECVD石墨舟中自动装载至电池片承载盒中的设备。本设备设计精巧，采用机器人系统加先导独特设计的结构组成，softtouch理念的完美体现，从而有效降低电池片碎片率。人工上下料无法比拟的稳定性、低碎片率，铸就了先导光伏设备的优异品质。可根据客户要求定制生产非标设备，以便更好满足客户需求。
规格型号 LDSD15
名 称 管式PECVD上下料机
适用电池片 125/156mm单晶/多晶电池
碎片率 &0.08%
产 能 上料：3000片/小时；下料：3000片/小时(可调)
尺寸（L x W x H ） 00mm
重量 4000kg
输入电压 380V/60Hz
输入真空流量 22m³/h
输入压缩空气压力 6bar
输入压缩空气流量 45L/min
公司其他产品
　　无锡先导自动化设备股份有限公司位于无锡国家高新技术产业开发区，是一家集设备研发、标准件采购、机械零部件加工、设备装配、编程调试、售后服务于一体的专业自动化设备制造商。
　　无锡先导成立于2002年，目前厂房占地面积26000平方米，建筑面积30000平方米，其中研发大楼6800平方米。公司拥有员工350多人，其中各类工程技术人员90余人，研发部门R&D机械和电气研发工程师50余人。
　　公司被评为【江苏省高新技术企业】、【江苏省认定企业技术中心】和【江苏省电容器自动化设备工程技术研究中心】。公司拥有50余项实用新型及发明专利。
　　无锡先导的核心技术是强大的研发和制造能力。无锡先导经过十多年的发展，沉淀积累了大量的自动化设备方面的技术和经验，拥有一批经验丰富的研发工程师。无锡先导可以按客户的技术要求，为客户研发个性化的设备，提升设备的附加值，使客户的产品具有市场竞争优势。
　　无锡先导具有先进的机械装备实力和一批经验丰富的机械工艺师，公司拥有多台进口大型龙门加工中心、40多台CNC加工中心及各种机械加工设备, 以满足制造高精度的设备需要。无锡先导能够自主加工大型的高精度的设备底板和复杂的高精度的零部件,公司的机械工艺师在不断的探索新工艺新材料，以满足客户对设备越来越高的可靠性和耐用性要求。
　　无锡先导有严格的质量管理和7S生产管理体系。公司拥有多台高精度的三座标检测设备及其他精密检测设备，实行零件全检，保证机器最终达到客户的技术要求。公司通过了ISO质量管理体系认证和ISO环境管理体系认证，公司拥有ERP管理系统和严格的内审体系流程，并有严格和规范的管理制度。
　　先导始终坚持追求完美的质量理念，全方位服务好客户。公司有完善的售前和售后服务团队，服务由一般的被动服务改为主动服务，真正的让客户感受到先导产品的价值内涵。质量的提高永无止境，先导将不断进取，为客户提供更有价值的设备和更好的服务。
公司名称：
无锡先导自动化设备股份有限公司
英文名称：
WUXI LEAD AUTO EQUIPMENT CO.,LTD
所在城市：
江苏省 无锡市
详细地址：
国家高新技术产业开发区新锡路20号
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太阳能光伏PECVD镀膜设备
&& 11:09:18&&&&我要投稿
:概述前面几章已经介绍了生产线上的清洗制绒、扩散和刻蚀等设备结构及性能参数。本章将着重阐述镀膜设备&&&等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，简称)。PECVD作为太阳电池生产线上的关键设备之一，其市场需求相当大，所以PECVD技术在70年代以来已成为研究的热点，并将不断成长为一项成熟的技术。PECVD与一般的CVD方法相比既有相同之处，又有它独特的优势。以下将详细介绍PECVD装置的原理、特点、结构参数、性能指标、操作规范和保养维修等。图6.1PECVD的结构示意图6.2PECVD的工作原理和特点目前太阳能市场上用的PECVD设备，国外的主要有德国centrotherm和日本岛津的镀膜设备;国内的主要有生产型管式PECVD，接下来就该管式PECVD的工作原理、结构性能参数、操作调试过程和维护保养工作做一个详尽的介绍。图6.1为PECVD的结构示意图。化学气相沉积(CVD)是反应气体在一定条件下分解并发生化学反应，最终生成固态物质沉积在基体表面继而形成薄膜的一种技术。在工艺上与其他薄膜沉积技术相比，具有沉积速度快、膜层质量好等优点，且已广泛应用于电子、光电子、表面改性等领域。该技术的缺点是沉积工艺温度过高，一般在(900℃～1200℃)之间，被处理的基体在高温下易变形、基体晶粒长大、致使基材性能发生改变，甚至某些相对低熔点的合金基材：如(Al合金)无法涂覆，而PECVD在很大程度上改进了CVD的这些缺点。PECVD技术原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。PECVD方法区别于其他CVD方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子，它们可以提供化学气相沉积过程所需的激活能。电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程，生成活性很高的各种化学基团，因而显著降低CVD薄膜沉积的温度范围，使得原来需要在高温下才能进行的CVD过程得以在低温下实现。其化学反应方程式为利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术被称为等离子体增强CVD。电子和离子的密度达109～1012个/cm3，平均电子能量可达1～10eV。成膜过程在真空中进行，大约在5～500Pa范围内。由于等离子体存在，促进气体分子的分解、化合、激发和电离，促进反应活性基团的生成，从而降低沉积温度。PECVD在200℃～500℃范围内成膜，远小于其他CVD在700℃～950℃范围内成膜。PECVD成膜均匀，尤其适合大面积沉积。由于在氨气压条件下，提高了活性基团的扩散能力，从而提高薄膜的生长速度一般可达30～300nm/min以上。
来源：北极星太阳能光伏网
投稿联系：陈女士
邮箱：（请将#换成@）
伴随光伏组件成本的快速下降，平价上网时代正在加速到来。在昨天开幕的全球最大光伏展第十一届SNEC光伏展及期间举行的全球光伏领袖论坛上，平价上网成为各方关注的焦点，多数人认为这一时点会比预期更快到来，而非光伏成本则成为左右进程的一个关键因素。2020年左右或实现平价上网我国十三五规划已定出了非常明确的目标，到2020年光伏累计装机量达到105GW，我估计这个数字会大
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产品名称：pecvd管式炉
产品规格：HC1143
包装说明：－－－－
价格说明：－－－－
产品数量：20000
发布日期：
公司名称：
经营模式：生产型
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&pecvd管式炉- 管式炉、热科炉业、管式炉 1200&的 详 细 说 明
目前，在中国微波法PECVD系统占据市场的主流，而管式PECVD系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法PECVD系统还没有进入中国市场。 除了上述几种模式的PECVD系统外，美国的Applied Material公司还开发了磁控溅射PECVD系统，该系统使用磁控溅射源轰击高纯硅靶，在氨气的气氛中反应溅射，形成SiNx分子沉积到样品表面。这种技术的优点是不使用易爆的硅烷气，安全性提高很多，另外沉积速率很高。 如果按照PECVD系统所使用的频率范围，又可将其分成以下几类： ■ 0 Hz：直流间接法――OTB公司 ■ 40 KHz：Centrotherm公司管式直接法PECVD和Applied Material公司的磁控溅射系统 ■ 250 kHz：岛津公司的板式直接法系统 ■ 440 kHz：Semco公司的板式直接法 ■ 460 kHz：Centrotherm公司管式直接法 ■ 13.6 MHz：Semco公司和MVSystem公司的板式直接法系统 ■ 2450 MHz：Roth&Rau公司的板式间接法系统。 集合管的结构有哪几种？ 答：由于工艺介质进口温度较低，上集合管的直径一般较小，材料较低。为了解决热补偿问题，一般采用固定支座和轴向滑动轴承支座相结合的支撑方式。 下集合管有全热壁、冷―热壁、全冷壁三种结构。 1）全热壁结构的支集合管和总集合管均为热壁，外保温或置于保温箱内(如图17所示)，因其造价高和膨胀问题难以解决，现在已很少使用。 2）冷―热壁混合的支集合管采用热壁结构，外保温或与下尾管一起置于保温箱内。一般在在支集合管的中间采用固定支座，两端采用滑动支座，往总集合管去的连接管也置于中间，连接管只承受总集合管热膨胀引起的位移，而总集合管一般采用冷壁结构。 3）冷壁结构的总集合管一般分为三层结构，承压的外壳一般采用碳钢或低合金钢，中间是保温层，内部是高合金25-20或Lncoloy800H衬套以防止气流对保温层的冲刷。 主要功能和特点： 1、炉膛采用进口氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，耐用，高效节能。 2、加热元件采用进口优质合金丝，经久耐用,温度可达1200℃。 3、采用双层壳体结构，结合热感应技术，配有风冷系统，使炉体表面温度快速降温。 4、采用RK快速法兰连接，减少了加热管损坏的可能，取、放物料更加方便快捷。 5、上开式炉盖设计，可以实时观察加热的物料，并能迅速降温，满足材料骤冷骤热的实验需要； 6、智能PID高精度控制，自整定功能，30段可编程控制，可设置30段升降温程序,实现了功率无损耗。 7、预留真空、气路快速接口，配合我司真空、混气系统使用；满足用户在不同的真空状态及不同的气氛条件下进行实验。 8、预留485转换接口，通过我司专用软件，与计算机互联，可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能； 9、具有开启断电，超温报警，漏电保护等安全操作功能。
本公司还供应上述产品的同类产品：管式炉 1200
郑州热科电炉有限公司是一家专业从事热处理产品的研发、生产与销售的高新技术企业。公司产品涵盖箱式马弗炉，管式电阻炉，真空炉，气氛炉，CVD系统，牙科炉，升降炉，轨道炉等，广泛用于粉末冶金、真空钎焊、陶瓷烧结、电池材料干燥、金属光亮处理、零部件退火、科学研究等多个领域。
多年来，公司坚持以客户需求为导向，致力于不断提高产品品质和完善技术服务，凭借过硬的技术、丰富的实践积累，先后研发出了一系列具有国际先进水准的实验电炉和工业窑炉。公司的产品和服务受到众多国内外客户的肯定与赞赏，产品远销到美国、德国，意大利，法国、俄罗斯，加拿大、英国、澳大利亚，土耳其、印度、巴基斯坦、伊朗、南非、巴西、泰国、新加坡等三十多个国家和地区。
热科电炉拥有完整、科学的质量管理体系，标准化的生产制造车间，具有年产1000台电炉生产制造能力，生产规模位居行业前列，是国内具有影响力的实验电炉、工业窑炉生产制造商。公司目前有一些员工40余人，多名专业热工技术工程师和设计制造工程师， 并联合多所重点科研院校共同建立了多个技术研发项目，为每一位客户提供高技术含量的产品解决方案和优质的服务是所有热科人的神圣职责！
郑州热科电炉有限公司的诚信、产品品质和售前售后服务已获得业界的广泛认可，公司将继续秉承以诚信广交天下朋友，以品质赢取市场的理念，真诚希望与各界朋友，携手共进，合作共赢！
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管式pecvd和板式pecvd比拟[指南]
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&embed src='/DocinViewer--144.swf' width='100%' height='600' type=application/x-shockwave-flash ALLOWFULLSCREEN='true' ALLOWSCRIPTACCESS='always'&&/embed&
450px*300px480px*400px650px*490px
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