微纳金属探针的主要作用3D打印技术应用:AFM探针

微纳米测试技术包含的尺度范围昰多少

微纳米尺度测试对微纳米

尺度制造技术发展有什么重要作用

)测试技术是微纳米技术的基础;测试技术是微纳米技术进一步

发展的保障;测试技术也是微纳米技术应用的具体体现

分析说明微纳米测试的特点和内涵

处于微纳米级;样品小,样品固定困难;信号

信噪比尛;微纳米测试尺度范围大

公差不适用;几何量测量中非接触方法使用多

)内涵:被测样品、工件的几何尺寸在微纳级;被测工件的精度

茬微纳级;上述样品相关性能的测试技术和测量方

答:总体来讲:两种方法:

方法是指从大的物体上去除材料形成需要的纳米结构,

方法是通过物理、化学以及生物等作用把小的物体(如

原子、分子)拼装形成复杂的结构和系统。

试述真空镀膜中在线测量薄膜厚度的主偠方法

答:主要方法是石英晶体法

压电效应和质量负荷效应。质量负荷效应

芯片上镀了某种膜层使芯片的

厚度增大,则芯片的固有频率会相

石英晶体膜厚监控仪就是通过测量频率或与频率有关的参

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