哪位大哥知道单晶铜炉上的提拉头怎么清理啊...

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2011-09-26 11:57 标签： 单晶铜
【图文】单晶炉异常处理操作_百度文库
两大类热门资源免费畅读
续费一年阅读会员，立省24元！
评价文档：
单晶炉异常处理操作
上传于|0|0|暂无简介
大小：5.18MB
登录百度文库，专享文档复制特权，财富值每天免费拿！
你可能喜欢单晶炉常见应急事故处理方法及注意事项；常见事故：；(一)停水；1)发生停水或水压报警时，先确认水压表是否偏低，；1.快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面15；2.关闭加热功率；3.复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动；4.降低埚位到熔料埚位；5.关闭埚转；2)停水后水压恢复；1.冷却水恢复供应时，监控水压，有异常立即报告管；2.水压恢复时，炉内无
单晶炉常见应急事故处理方法及注意事项
常见事故：
1) 发生停水或水压报警时，先确认水压表是否偏低，水管和炉筒温度是否明显升高。
1. 快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。
2. 关闭加热功率。
3. 复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。
4. 降低埚位到熔料埚位。
5. 关闭埚转。
2) 停水后水压恢复。
1. 冷却水恢复供应时，监控水压，有异常立即报告管理人员。
2. 水压恢复时，炉内无严重氧化现象，熔体未结晶或已结晶但液面结晶小于10分钟且石英坩埚未破裂，按加热功率开，调节功率到熔料功率。
3. 启动埚转，设定为2转/分。
4. 熔化结晶面，在此期间应密切炉内有无严重氧化现象，注意硅料液面熔化情况，一旦发生严重氧化现象、硅液面下降，立即停炉并上报管理人员。
5. 待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始引晶。
3) 停水后水压无法恢复，或恢复时熔体已结晶大于10分钟。
1. 在熔体结晶15分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。
2. 停炉，充分冷却后拆炉
4. 停电 若炉子工作时，加热部分停电。 复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。 降低埚位到熔料埚位。 关闭埚转。 加热部分恢复时，若时间较短（液面未结晶或液面已结晶但小于10分钟且石英坩埚未破），按加热功率开，将功率升至熔料功率。
5. 启动埚转，设定为2转/分。
6. 熔化结晶面，在此期间应密切注意硅料液面熔化情况，一旦发生硅液面下降，立即停炉并上报管理人员。
7. 待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始引晶。
8. 加热部分恢复时，若停电时间较长（液面结晶已经大于10分钟或石英坩埚破裂），快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。
9. 在熔体结晶15分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。
10. 停炉，充分冷却后拆炉。
2) 若炉子工作时，加热电源、控制电源同时断电。
1. 立即关闭抽空阀门。
2. 手动摇手柄降低埚位使晶棒与硅液脱离。
3. 同时将氩气流量调为最大，充氩气至-0.05MPa左右，关闭氩气。
4. 电源恢复时，立即开真空泵，待半分钟后开抽空阀门，将氩气流量恢复
5. 若时间较短（液面未结晶或液面已结晶但小于10分钟且石英坩埚未破），
按加热功率开，将功率升至熔料功率。
6. 启动埚转，设定为2转/分。若晶体或籽晶与液面结晶在一起，则要等晶
体或籽晶与液面结晶面熔化并脱离后方可启动。
7. 熔化结晶面，在此期间应密切注意硅料液面熔化情况，一旦发生硅液面
下降，立即停炉并上报管理人员。
8. 待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始引晶。
9. 若停电时间较长（液面结晶已经大于10分钟或石英坩埚破裂），快速提
升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。
10. 在熔体结晶15分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。
11. 停炉，充分冷却后拆炉。
7. 石英坩埚裂开或漏硅 观察炉内硅液面有明显下降，炉压有明显回升现象，即可能漏硅。 立即关闭加热功率。 关闭抽空球阀，充氩气至-0.05pa左右，关闭氩气。 复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。 关闭埚转。 快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。 在熔体结晶15分钟时，如有可能，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒
8. 停炉，充分冷却后拆炉。
(四) 石墨坩埚裂开
1. 埚转打开后，液面晃动异常严重，观察电流表指针有摆动现象，即可能
石墨埚破裂。
2. 立即关闭加热功率。
3. 复位控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。
4. 关闭埚转。
5. 快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。
6. 在熔体结晶15分钟时，如有可能，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒
7. 停炉，充分冷却后拆炉。
注意事项：
1、在装完料抽空检漏时，真空泵开启，应先开真空泵电源，再开球阀；关闭
时，应先关球阀，再关真空泵电源。切记不要将顺序记反，避免回气污染原料。
2、不进行快速操作时（晶快升，快降，埚快升，快降），将手操器按件推到
“禁止”状态。需要打快速时，打到“允许”状态。进行快速操作时应当
时刻注意炉内情况，避免出现溅硅、漏硅、硅跳、籽晶卡头断裂、重锤熔化等事故。
3、加热时必须打开水温报警，加热电流过低报警，加热器异常报警等。避免因人为疏忽发生异常情况，电脑无法报警造成事故的发生。部分炉台出现水温报警，可能是因为线路松脱等原因造成，及时检查原因，若出现假报警时，可将水温报警开关退出，切记不要将控制柜上方的红色总报警器关闭。
4、升降液压时将计算机画面按到（F5继电控制）上。不使用时(如出炉后)及时关掉液压泵，防止时间过长，泵过热。
5、加热前将画面按到（F4温度系统），加热水压触点1灯亮，水压触点2灯不亮，加热故障灯不亮方可加热。
6、加热时若出现打火现象（电流突然变大，电压减小）计算机会加热器异常报警，此时请将欧陆加热降到最小，后关闭加热。然后重新加热并注意观察。若出现两次以上打火，请停止加热。拆炉检查。
7、大清炉台时应当检查石墨件是否有破损或裂纹现象，若有应当及时更换。
8、下降或上升埚位时应当注意该炉台的报警限位，不要超出报警限位，以防出现石墨件的断裂或波纹管的损伤。
9、装好石墨坩埚后，开起埚转，看有无转动偏心、碰其它石墨器件等情况，若有应及时调整以防对拉晶造成影响。
10、在取晶棒时，细籽晶处应当用钳子剪断，严禁敲打籽晶，避免因籽晶受力产生微裂痕导致断裂的事故发生。
11、取棒时晶棒升到副室后，将翻板阀关闭、副室下边的防护钢板移到晶棒正下方，轻轻移动副室以防晶棒在副室内碰撞籽晶断裂。待晶棒稳定后再取出，晶棒下方严禁站人，避免人员伤亡等。
12、在化料过程中应注意观察炉内情况，若料有所下降，应及早打开埚转，并根据炉内的料位及时调整埚位，以防止石英坩埚长时间高温导致变形情况发生。
13、在收尾过程当中应当密切关注炉内情况，防止因料少温度低造成结晶粘住晶棒，钢丝绳断裂的事故发生。
包含各类专业文献、中学教育、幼儿教育、小学教育、各类资格考试、高等教育、外语学习资料、行业资料、文学作品欣赏、10单晶炉常见应急事故处理方法及注意事项等内容。　
　单晶炉故障及处理事项 20页 2财富值 单晶炉常见应急事故处理方... 3页 2财富...b. 有电流表抖动现象说明与加热器相擦,应立即关闭功率。 c. 复位控制柜面板... 　单晶炉操作 11页 2财富值 单晶操作规范及注意事项 ...安全事项 在上述检查准备工作就绪,且符合工艺操作规程...应按直拉应急方案处置, 严禁强行升温; 4)如遇上述... 　单晶炉常见问题 3页 1财富值 太阳能级多晶硅冶金法提纯... 3页 免费 郑州二外...面,这时已 经拉出的晶棒会碰擦鼓包,如不及时停炉会发生晶棒跌落的严重事故... 　5.籽晶检查及安装方法 5.1 检果籽晶是否过短,籽晶表面是否有损伤,上炉拉...单晶炉拆装炉注意事项 暂无评价 30页 免费 单晶炉常见应急事故处理... 3页 1... 　加热炉常见事故应急预案 (1)_解决方案_计划/解决...二、 引用标准和术语 加热炉工艺技术规程、操作规程...时,要及时向班长报告,并通 知装炉操作室人员注意... 　实验室常见事故的应急措施_解决方案_计划/解决方案_实用文档。实验室常见事故的应急措施一、实验室内常见危险品实验室事故有很多源于室内易燃易爆、有毒、有腐蚀性... 　锅炉故障及常见事故应急处理措施锅炉故障及常见事故应急处理措施隐藏&& 锅炉故障及...(2)定期校验安全阀,压力表; 若继续升压,应立即停炉 (3)注意压力参数的监控 ... 　锅炉应急处理措施 (一) 锅炉超压事故 锅炉升压的处理: 迅速减弱燃烧, 手动开启安全阀或气阀。 加大给水, 同时在下汽包加强排污(此时应注意保持锅炉正常水位)以... 　拉晶工艺与单晶炉操作注... 23页 4下载券 单晶操作规范及注意事项 32页 4下载...单晶炉常见应急事故处理... 3页 1下载券 单晶炉常见应急事故处理... 3页 3...

我要回帖

更多关于 单晶铜 的文章

 

随机推荐