AFM的纵向精度纵向是什么意思决定的

扫描隧道显微镜的分辨率为什么比原子力显微镜大? - 知乎167被浏览<strong class="NumberBoard-itemValue" title="1分享邀请回答6931 条评论分享收藏感谢收起129 条评论分享收藏感谢收起豆丁微信公众号
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高精度afm的研制及在机械和小分子结构中的应用
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硕士学位论文
轻敲模式原子力显微镜的优化研究
姓名:陈伟
申请学位级别:硕士
专业:光学工程
指导教师:卓永模
近二十多年的科学技术的发展,原子力显微镜(AFM)已从实验室走向
器发展出了系列扫描探针显微镜(SPM),并完善了
它的设计理
的理论进行了深入的研究和分析,对SPM的基本结
构以及每个
的总结,并从SPM的理论出发,在以前的激光力显
微镜(LFM)的基础上,重新设计了轻敲模式垦王乏埕丝笪:
测量速度和精度定标一直是困扰轻敲原子力显微镜的两大问题,为此我们首
次结合相位检测技术和表面形貌测量于一体,提出了一种新的表面形貌测量技
术:恒敲击力控制反馈模型。由于探针样品工作在轻敲模式,周期性的探针样品
———,—————1
接触导致探针的振动中包含了高次谐波分量,通过检测它来测量探针样品间的敲
击力,从而控制探针振幅,使得敲击样品的力恒定,探针振幅的改变就反应了表
面的形貌。使用该方法不仅可以较高的提高探针样品系统的反应时间,同时还可
以通过干涉对振动振幅的测量来直接获得表面形貌的纵向定量值,为纵向定标提
出了一条新的思路。基于AFM系统的复杂性特点,本文放弃了采用理论建模的
方法对系统精度进行分析,尝试着从系统辨识的角度来对AFM的精度进行了综
合,指出了AFM精度和分辨率的主要影响因素。
最后我们利用自己研制的AFM对大量样品进行了测试,并对结果进行了分
析。另外,我们还试着对部分硬质样品进行了重复性测试,效果良好。
theinvention
986,nano—technology
commercialAtomicMicroscopy
twenty.years.Now
AFM/STM/SNOM
combination
wildly.ScanningMicroscopy,a
AFM.Inthis
etc.hassubstituted
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AFM的纵向精度是什么决定的?
就是垂直方向的。探针直径决定横向的精度。
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